[发明专利]一种深度亚波长和高品质因数的人工等离激元谐振器

权利要求书

1.一种深度亚波长和高品质因数的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述谐振器为层状结构，包括：第一谐振图形层(1)、第二谐振图形层(3)、位于第一谐振图形层(1)和第二谐振图形层(3)之间的介质基板层(4)；

所述第一谐振图形层(1)包括外侧金属圆圈、位于外侧金属圆圈内圆周等间距的放射状金属条形结构；外侧金属圆圈在相邻两个放射状金属条形结构之间设有开缝(2)；

所述第二谐振图形层(3)为大面积金属地上互补的内侧圆环、位于内侧圆环外圆周等间距的放射状条形结构；

所述第一谐振图形层(1)上的放射状金属条形结构与第二谐振图形层(3)上的放射状条形结构周期相同、上下位置相同。

2.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述外侧金属圆圈的宽度与内侧圆环的宽度相同。

3.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述放射状条形结构末端到外侧金属圆圈的距离与所述放射状金属条形结构末端到内侧圆环的距离相同。

4.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述介质基板(4)为FR4，F4B，Rogers公司生产的RO4003、3003、4350、RT5880、5870、6002、6006、6010、6035、6202，Nelco公司生产的N4000-13、N4000-13EPSI的印刷电路或微波电路的介质基板，或为Si、SiO₂、Al₂O₃、GaAs、GaN的半导体或介质材料，或为柔性有机介质材料。

5.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述介质基板(4)的厚度为1μm～10mm之间。

6.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述第一谐振图形层(1)和第二谐振图形层(3)为铜、锡、金、银、铬、铅、铂、锌、铝、镁或钛的单一材料或其复合材料。

7.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述第一谐振图形层(1)和第二谐振图形层(3)的厚度为50nm～1mm之间。

8.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述第一谐振图形层(1)上的放射状金属条形结构与第二谐振图形层(3)上的放射状条形结构中条状结构的数量为5-60个。

9.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述开缝(2)数量为一个或多个，其分布打破整个谐振器结构的空间对称性。

10.根据权利要求1所述的人工等离激元谐振器，其特征在于，所述开缝(2)的缝宽在0.01mm-10mm之间。