[发明专利]一种环氧封装微型二极管及制作工艺有效

专利信息
申请号: 201911403212.3 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN110970298B 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 刘德军;闫义奇;丁晓宏;张开云;迟鸿燕;杨春梅 申请(专利权)人: 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)
主分类号: H01L21/329 分类号: H01L21/329;H01L21/50;H01L21/60
代理公司: 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 代理人: 汪劲松
地址: 550018 贵州省*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 一种 封装 微型 二极管 制作 工艺
【权利要求书】:

1.一种环氧封装微型二极管的制作工艺,其步骤为:

1)管芯制作:按常规工艺制作硅片后将其裂片为管芯;

2)引线加工:用具有弹性的金属丝制作引线;

3)管芯装配:使用引线将管芯夹紧在引线之间;

4)引线焊接:将管芯缓慢放入融化的锡锅中再缓慢取出冷却;

5)腐蚀:使用腐蚀液对管芯台面进行酸腐蚀、碱腐蚀、清洗、钝化;

6)台面钝化:在管芯上涂上硅橡胶;

7)封装:使用环氧树脂涂覆管芯后固化;

8)引线正负极分离:将引线中部剪开,加工完成;

所述引线为U型,其两末端折弯90°后接触;

所述步骤4)中使用镊子尖端夹住管芯放入锡锅中1~3秒,然后取出冷却1~3秒;

所述步骤5)中酸腐蚀采用酸腐蚀液,酸腐蚀液按质量百分比是分析纯的65%~68%的硝酸、≥40%的氢氟酸、95%~98%的硫酸、≥99.5%的冰乙酸、≥99.5%的磷酸按体积比1.2:1:1:2:2的混合溶液;

所述步骤5)中碱腐蚀采用碱腐蚀液,碱腐蚀液为3%~6%的氢氧化钾溶液,其碱腐蚀温度为58~98℃;

所述步骤5)中钝化采用钝化液,钝化液按质量百分比是≥30%的双氧水、≥85%的磷酸和离子水按2:2:5混合的混合液;

所述步骤5)中清洗采用清洗液,清洗剂按质量百分比是65%~68%的硝酸、≥40%的氢氟酸、95%~98%的硫酸、≥99.5%的冰乙酸按体积比8:2:2:5的混合溶液;

所述步骤6)中固化采用低温固化,低温成型的升温速率10~15℃/min,升温时间45~65min,烧结温度600~680℃,恒温时间5~40min,降温速率≤5℃/min。

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