[发明专利]对样本的缺陷检测的方法及其系统

权利要求书

1.一种对样本的缺陷检测的计算机化系统，所述系统包括：

处理单元，所述处理单元可操作地连接到检验工具，所述处理单元包括存储器和可操作地耦接到所述存储器的处理器，所述处理单元被配置为：

对所述样本的第一管芯的一个或多个部分中的每个部分执行分区，其中基于以下中的至少一个执行对所述一个或多个部分中的给定部分的所述分区：i)表征所述给定部分的图像数据，从而在图像空间中产生多个区域，以及ii)表征所述给定部分的设计数据，从而在设计空间中产生多个区域；

其中所述处理单元还被配置为在所述样本上检测缺陷的运行时：

从所述检验工具接收指示在针对所述样本的第二管芯的一个或多个部分捕获的一个或多个第二图像上的噪声分布的一个或多个噪声图，所述第一管芯和所述第二管芯具有相同设计数据，其中所述第二管芯是在运行时被检测的检测管芯；

对所述一个或多个噪声图中的每个执行分割，其中通过以下执行对所述一个或多个噪声图中的给定噪声图的所述分割：

计算所述多个区域中的每个区域的评分，其中所述给定噪声图与所述多个区域对准并且所述多个区域中的每个区域与其中对准的噪声数据相关联，并且其中所述多个区域中的给定区域的所述评分至少基于与所述给定区域相关联的所述噪声数据来计算；以及

基于所计算的评分来将每个区域与指示不同噪声水平的一组预限定的分割标签中的一个分割标签相关联，从而获得一组片段，每个片段对应于与同一分割标签相关联的一个或多个区域；

其中所述一组片段可用于在运行时基于所述给定噪声图来进行对所述样本的所述缺陷检测。

2.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中基于所述设计数据来执行所述分区，并且其中所述设计空间中的所述多个区域是多个设计组，每个设计组对应于所述给定部分中的具有同一设计模式的一个或多个管芯区域。

3.根据权利要求1所述的计算机化系统，所述计算机化系统还包括检验工具，所述检验工具被配置为捕获包括表示所述给定部分的第一图像的图像数据，其中基于所述图像数据来执行所述分区，并且基于由表征所述第一图像的一组属性指定的属性空间中的对应位置的值来在所述第一图像上获得所述图像空间中的所述多个区域。

4.根据权利要求3所述的计算机化系统，其中所述第二管芯是与所述第一管芯不同的管芯，并且其中所述检验工具还被配置为在运行时捕获表示所述第二管芯的所述一个或多个部分的所述一个或多个第二图像并提供指示所述一个或多个第二图像上的噪声分布的所述一个或多个噪声图。

5.根据权利要求4所述的计算机化系统，其中所述第一管芯是用于执行所述分区的参考管芯，所述第二管芯是检查管芯，并且其中在设置阶段中执行所述分区。

6.根据权利要求4所述的计算机化系统，其中所述第一管芯是用于所述第二管芯的检查的参考管芯，所述第二管芯是检查管芯，并且其中在运行时执行所述分区。

7.根据权利要求3所述的计算机化系统，其中所述第二管芯是所述第一管芯，并且所述一个或多个第二图像是针对所述第一管芯的所述一个或多个部分捕获的一个或多个第一图像，并且其中在运行时执行所述分区。

8.根据权利要求1所述的计算机化系统，其中所述检验工具是被配置为扫描所述样本以捕获所述图像数据和所述一个或多个第二图像的检查工具。

9.根据权利要求3所述的计算机化系统，其中所述一组属性是从一组属性候选中选择的，所述一组属性候选包括一个或多个预限定的属性以及使用机器学习模型生成的一个或多个属性。

10.根据权利要求9所述的计算机化系统，其中所述一组属性包括使用所述机器学习模型生成的所述一个或多个属性，并且其中所述处理单元还被配置为使用所述机器学习模型生成所述一个或多个属性。