[发明专利]竖向及横向静浮式导向液压作动器、离心机振动台

权利要求书

1.一种竖向静浮式导向液压作动器，其特征在于，包括缸体(100)和第一不完全平衡静压支撑盘组件(200)；

所述缸体(100)上连接有伺服控制阀(101)；

所述缸体(100)一侧的第一伸出端通过第一缸套(102)连接有第一柱塞(103)，所述第一柱塞(103)的内侧端连接有位移传感器(104)，所述第一柱塞(103)的外侧端与所述第一不完全平衡静压支撑盘组件(200)转动连接。

2.根据权利要求1所述的竖向静浮式导向液压作动器，其特征在于，所述缸体(100)内设有与所述伺服控制阀(101)连接的作动器供油管(105)和作动器出油管(106)；

所述作动器供油管(105)与所述第一柱塞(103)的第一柱塞油腔(107)相连通，所述第一柱塞(103)的第一供油口(108)与所述第一不完全平衡静压支撑盘组件(200)的第一支撑盘供油口(201)相连通；

所述缸体(100)的一侧连接有第一回油管(109)，所述第一回油管(109)与所述第一不完全平衡静压支撑盘组件(200)的第一支撑盘回油槽(202)相连通；所述作动器出油管(106)与所述第一支撑盘供油口(201)相连通。

3.根据权利要求2所述的竖向静浮式导向液压作动器，其特征在于，所述位移传感器(104)连接在所述第一柱塞(103)的弹性件(110)上，所述位移传感器(104)一端的位移传感器活动端固定座(111)抵接在所述弹性件(110)的一端，所述位移传感器(104)另一端的位移传感器线圈固定座(112)抵接在所述弹性件(110)的另一端。

4.根据权利要求3所述的竖向静浮式导向液压作动器，其特征在于，所述第一柱塞(103)上设有第一弧形槽(113)，所述第一不完全平衡静压支撑盘组件(200)连接有第一球铰球头(203)，所述第一球铰球头(203)通过第一球铰压盖(204)连接在所述第一弧形槽(113)内。

5.一种横向静浮式导向液压作动器，其特征在于，包括如权利要求1所述的竖向静浮式导向液压作动器和第二不完全平衡静压支撑盘组件(300)；

所述缸体(100)另一侧的第二伸出端与所述缸体(100)一侧的第一伸出端对称设置；

所述缸体(100)的第二伸出端通过第二缸套(114)连接有第二柱塞(115)，所述第二柱塞(115)的外侧端与所述第二不完全平衡静压支撑盘组件(300)转动连接。

6.根据权利要求5所述的横向静浮式导向液压作动器，其特征在于，所述缸体(100)内设有与所述伺服控制阀(101)连接的作动器供油管(105)和作动器出油管(106)；

所述作动器供油管(105)与所述第一柱塞(103)的第一柱塞油腔(107)相连通，所述第一柱塞(103)的第一供油口(108)与所述第一不完全平衡静压支撑盘组件(200)的第一支撑盘供油口(201)相连通；所述缸体(100)的一侧连接有第一回油管(109)，所述第一回油管(109)与所述第一不完全平衡静压支撑盘组件(200)的第一支撑盘回油槽(202)相连通；

所述作动器出油管(106)与所述第二柱塞(115)的第二柱塞油腔(116)相连通，所述第二柱塞(115)的第二供油口(117)与所述第二不完全平衡静压支撑盘组件(300)的第二支撑盘供油口(301)相连通；所述缸体(100)的第二伸出端连接有第二回油管(118)，所述第二回油管(118)与所述第二不完全平衡静压支撑盘组件(300)的第二支撑盘回油槽(302)相连通。

7.根据权利要求6所述的横向静浮式导向液压作动器，其特征在于，所述第二柱塞(115)上设有第二弧形槽(119)，所述第二不完全平衡静压支撑盘组件(300)连接有第二球铰球头(303)，所述第二球铰球头(303)通过第二球铰压盖(304)连接在所述第二弧形槽(119)内。