[发明专利]一种二维直线度和直线位移同时测量干涉装置在审
| 申请号： | 201911395588.4 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111121614A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 贾治国;方扬扬;黄朋杰;刘红 | 申请（专利权）人： | 河南中原光电测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/27;G01B11/02 |
| 代理公司： | 郑州泽创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41159 | 代理人： | 杨会军 |
| 地址： | 450000 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二维 直线 位移 同时 测量 干涉 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种二维直线度和直线位移同时测量干涉装置，其特征在于：激光器(1)射出准直光束经过扩束系统(2)后，中心光束由滤波片(3)接收，经过滤波片(3)滤波后的光束经分光平板(4)分为两部分，一部分经过四分之一波片(8)后入射至反光镜(9)后原路返回，再经过四分之一波片(8)后经过分光平板(4)后发生透射，后经偏振片(11)，偏振片(11)与水平方向成45°，经过凹透镜(12)后光束发生发散，光束成像至光电探测器(13)；孔径光束经分光平板(4)后透射部分经过四分之一波片(5)后再经圆锥透镜(6)后发生转角，转角后入射至圆锥面反射镜(7)后原路返回，再次经过圆锥透镜(6)和四分之一波片(5)发生反射，后经偏振片(11)，其透射方向与水平方向成45°，后经过凹透镜(12)，光束成像至光电探测器(13)上。
2.根据权利要求1所述的二维直线度和直线位移同时测量干涉装置，其特征在于：所述圆锥透镜(6)的锥角为160°-165°。
3.根据权利要求1所述的二维直线度和直线位移同时测量干涉装置，其特征在于：所述激光器(1)可以为He-Ne激光器、固体激光器或者半导体激光器。
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