[发明专利]一种高性能铁磁性靶材的制备方法

权利要求书

1.一种高性能铁磁性靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)首先准备靶坯和背板；

2)将靶坯加工至成品靶材厚度尺寸；

3)将加工后的靶坯和背板采用温差法焊接，保证靶材平面度和低应力，得到焊接组件；

4)将焊接组件通过振动时效消除焊接残余内应力，得到坯料；

5)将坯料加工成所需规格尺寸，得到成品靶材。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1)中所述靶坯为钎焊型铁磁性靶材。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1)中所述靶坯直径为Φ300-450mm。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2)所述靶坯加工方式为高精度加工。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3)中所述温差法焊接为通过加热靶坯，使靶坯与背板之间变形减小。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3)中所述温差法焊接为通过加热器控制靶坯降温速度，使靶坯降温速度控制在1-2℃/min。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3)中所述温差法焊接为通过冷却板控制靶坯1降温速度，使背板降温速度控制在3-10℃/min。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4)中所述振动时效时间为10-20min。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤5)中所述靶材为8英寸或12英寸晶圆用铁磁性靶材。

10.根据权利要求1-8中任一项所述方法制备的高性能铁磁性靶材，其特征在于，靶材平面度≤0.2mm，薄膜均匀性≤2.2％，靶材溅射面透磁率分布均匀。