[发明专利]悬空光波导及其制备方法

权利要求书

1.一种悬空光波导的制备方法，包括：

通过第一辅助层在第一方向上提供第一间隔，并在所述第一间隔中形成光限制层；

通过第二辅助层在所述光限制层上在所述第一方向上提供第二间隔，并在所述第二间隔中形成光传输层，其中，在所述第一方向上，所述第二间隔位于所述第一间隔的边缘的内侧；

去除所述第一辅助层和所述第二辅助层；

在所述光限制层上形成支撑层，所述支撑层与所述光传输层位于所述光限制层的同一侧且在所述第一方向上位于所述光传输层的两侧，所述支撑层的厚度大于所述光传输层的厚度，

其中，所述光限制层的折射率小于所述光传输层的折射率。

2.根据权利要求1所述的制备方法，还包括：将所述光限制层、所述光传输层和所述支撑层转移至支撑基板上，且所述光限制层的形成有所述光传输层和所述支撑层的一侧面对所述支撑基板，所述光传输层的面对所述支撑基板的一侧和所述支撑基板之间具有间隙。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其中，所述第一间隔和所述第二间隔均具有沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸的条形形状。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其中，所述第一间隔沿所述第二方向的长度大于或者等于所述第二间隔的沿所述第二方向的长度。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其中，

在所述第一辅助层的所述第一间隔中形成所述光限制层包括：在所述第一间隔中施加光限制层材料，对所述光限制层材料进行固化处理形成所述光限制层；

在所述第二辅助层的所述第二间隔中形成所述光传输层包括：在所述第二间隔中施加光传输层材料，对所述光传输层材料进行固化处理形成所述光传输层。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其中，

在对所述光限制层材料进行所述固化处理之前，还包括对所述光限制层材料进行抽真空处理；

在对所述光传输层材料进行所述固化处理之前，还包括对所述光传输层材料进行抽真空处理。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其中，沿着所述第二方向，所述光限制层材料和所述光传输层材料均包括相对的第一端和第二端，所述抽真空处理包括：

对所述光限制层材料的所述第一端形成负压以抽取所述光限制层材料中的气泡，且在所述光限制层材料的所述第二端施加附加的光限制层材料；

对所述光传输层材料的所述第一端形成负压以抽取所述光传输层材料中的气泡，在所述光传输层材料的所述第二端施加附加的光传输层材料。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其中，在对所述光传输层材料进行所述固化处理之前，且在进行所述抽真空处理之后，形成所述光传输层还包括：在所述光传输层材料的所述第一端形成光导入部件，在所述光传输层材料的所述第二端形成光导出部件。

9.根据权利要求3所述的制备方法，其中，在所述第一方向上，所述支撑层在所述光传输层的至少一侧与所述光传输层间隔。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其中，所述光限制层填充所述第一间隔的全部区域，所述光传输层填充所述第二间隔的全部区域，且在垂直于所述第一方向和所述第二方向所在平面的方向上，所述光限制层的厚度和所述第一辅助层的厚度相同，所述光传输层和所述第二辅助层的厚度相同。

11.根据权利要求10所述的制备方法，其中，所述光限制层的材料包括聚二甲基硅氧烷和固化剂的质量百分含量之比为15:1～30:1的聚二甲基硅氧烷溶液；所述光传输层的材料包括聚二甲基硅氧烷和固化剂的质量百分含量之比为5:1～14:1的聚二甲基硅氧烷溶液。

12.根据权利要求11所述的制备方法，其中，所述光限制层和所述光传输层的厚度之比为1:2～1:7。