[发明专利]一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置及点火方法有效
申请号: | 201911388979.3 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111268683B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 王绪生;罗全安;何寿林 | 申请(专利权)人: | 武汉新硅科技潜江有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 武汉江楚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 42228 | 代理人: | 邓寅杰 |
地址: | 433100 湖北省潜*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氯化 反应 点火装置 点火 方法 | ||
1.一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置,其特征在于:包括硅粉原料罐(1)和工频加热器(2),所述工频加热器(2)设置于所述硅粉原料罐(1)外对所述硅粉原料罐(1)进行加热;
所述硅粉原料罐(1)上部设有硅粉加入口(11)和气体出口(12),底部设有硅粉出口(13)和气体入口(14);
所述硅粉原料罐(1)上还设有温度传感器(3)和压力传感器(4)。
2.根据权利要求1所述一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置,其特征在于:所述气体入口(14)顺次连接加热器(5)和减压阀(6)对通入所述硅粉原料罐(1)内的气体进行减压和加热。
3.根据权利要求1所述一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置,其特征在于:所述气体出口(12)连接除尘器。
4.根据权利要求3所述一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置,其特征在于:所述除尘器包括一级除尘器和二级除尘器。
5.根据权利要求4所述一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置,其特征在于:所述一级除尘器为布袋除尘器(7),所述二级除尘器为淋洗塔(8)。
6.根据权利要求1所述一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火装置,其特征在于:所述硅粉出口(13)与合成炉连通。
7.一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火方法,其特征在于:包括如下步骤:
第一步:将硅粉加入到硅粉原料罐(1)中,工频加热器调电压330-350V对硅粉进行加热;
第二步:气体减压到0.025Mpa,温度加热到300℃,将气体通入硅粉原料罐(1)内;
第三步:控制硅粉原料罐(1)顶部压力为微正压,保证硅粉原料罐(1)内硅粉在热的气体的翻动下均匀加热,少量细硅粉随热的气体进入除尘器除尘后放空;
第四步:硅粉原料罐(1)温度达500℃,加热时间达3小时后硅粉加热合格,释放炽热的硅粉到合成炉内,直接通入适量氯气进行氯化反应制备四氯化硅。
8.根据权利要求7所述一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火方法,其特征在于:第二步和第三步中所述气体为N2。
9.根据权利要求7所述一种硅粉氯化制四氯化硅反应点火方法,其特征在于:第三步中,少量细硅粉随热的气体进入布袋除尘器(7)除尘后到淋洗塔(8),经淋洗塔(8)洗涤后放空。
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