[发明专利]光学式编码器用反射板及其制造方法

说明书

提供能以比以往低的成本制造且具有以往以上的位置测量精度的光学式编码器用反射板及其制造方法。光学式编码器用反射板(1)是具备形成于面内的中央的轴承孔(12)和以轴承孔(12)为中心按照规定的图案排列成放射线状的多个窄条状的非反射部(13)的圆板状的薄板(11)。薄板(11)呈包括由PET膜构成的树脂层(111)、由镜面光泽的铝构成的金属层(112)、及由丙烯酸树脂涂料构成的金属保护层(113)在内的多层构造，非反射部(13)是通过胶版法以厚度1～4μm形成在金属保护层(113)或者树脂层(111)之上的黑色墨(I)。薄板(11)以蒸镀铝而成的PET膜为母材，且非反射部(13)由胶版法形成，因此有与以往同等以上的形状精度与测量精度。

技术领域

本发明涉及通过使入射光反射并接收该光、从而用于检测物体的位移的光学式编码器所使用的光学式编码器用反射板及其制造方法。

背景技术

在以往的光学式编码器用反射板100中，如图5所示，对于窄条(slit)102来说，在将不锈钢、镍等金属的表面加工成具有镜面光泽的平板状的圆板101上通过镀黑铬、镀铜形成了窄条102(例如参照专利文献1、专利文献2)。在使用时，窄条102吸收光，另一方面，窄条102以外的部分将光反射并接收该反射光，从而能够测量物体的位移。

这里，光学式编码器用反射板100被大量地使用于控制机械、测量机器等，因此需要尽可能以低成本制造，但以往的制造方法、构成虽然窄条102的形状精度、位置测量精度良好，但制造工序复杂，因此存在大量生产时成本增加这一问题。

而且，在以这种方法形成了窄条102的情况下，由于在其与圆板101之间产生高低差，因此存在入射光由于该高低差而引起乱反射、从而导致测量精度降低这一问题。

另一方面，也有如下结构：在基材上形成窄条状的槽，并在其中埋入铜并进行研磨，从而消除窄条与圆板的高低差(例如参照专利文献2)。

然而，即使采用该方法，也难以完全消除窄条与圆板的高低差，另外，在研磨的过程中也有损伤光泽面而损害光的反射性的危险性。

另一方面，在为了降低制造成本而研究其他制造方法、构成的情况下，窄条102的形状精度、位置测量精度的降低成为了课题。例如，也可考虑对光泽面印刷黑色的墨而形成窄条102，从而代替镀黑铬、镀铜。关于这一点，在采用了丝网印刷法的情况下，墨的涂覆厚度取决于丝网的厚度，因此一般会达到几十μm以上，因此仍不可避免上述的乱反射所引起的位置测量精度的降低。另一方面，通过喷墨法用墨描绘窄条102的方法虽然确实能够较薄地形成，但印刷速度相对较慢，因此存在降低生产性能、增加制造成本这一问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5925365号公报

专利文献2：日本特开2004－151076公报

发明内容

发明将要解决的课题

本发明的目的在于，鉴于上述情况，提供具有与以往的电铸制的光学式编码器用反射板同等或其以上的形状精度与位置测量精度、并且与以往的光学式编码器用反射板相比成本更低的光学式编码器用反射板及其制造方法。

用于解决课题的手段