[发明专利]一种特定形貌二硫化钨的制备方法

权利要求书

1.一种特定形貌二硫化钨的制备方法，其特征在于，该方法具体包括

以下步骤：

步骤(1).取WS₂固体粉末1～5 g，放入石英舟中，然后将装有WS₂固体粉末的石英舟放入管式电炉中的石英管内；石英舟放置在石英管的中间位置；

步骤(2).将基底用去离子水清洗后氮气吹干，将浓度为0.05～0.2 mol/l 的氯化钯盐酸溶液，喷雾至基底表面，再通过加热板加热至80～100℃，使PdCl₂喷雾液滴干燥；然后将基底放置在石英管中，位置在载气流向下游方向距石英舟20~25cm处；

步骤(3).开启机械泵抽真空，同时向石英管中输入载气氩氢混合气，其中H₂的体积含量为5%，载气流量为20～50 sccm；管内真空度为100～600 Pa；

步骤(4).将石英管升温至900～1000℃，升温速率为20～30℃/min；温度升至900～1000℃后保温，保温时间为30 min～300 min；

步骤(5).石英管停止加热，将石英管快速冷却到室温，冷却速率为10～100℃/min，然后取出基底，在基底上获得框架结构硫化钨，其中边缘原子在总原子数中的占比增大。

2.如权利要求1所述一种特定形貌二硫化钨的制备方法，其特征在于：在步骤（1）采用刚玉管替代石英管，采用刚玉舟替代石英舟。

3.如权利要求1所述一种特定形貌二硫化钨的制备方法，其特征在于：步骤（2）所述基底为表面生长有氧化层的硅片或蓝宝石。

4.如权利要求1所述一种特定形貌二硫化钨的制备方法，其特征在于：所述石英管直径为1英寸。

5.如权利要求1所述一种特定形貌二硫化钨的制备方法，其特征在于：所述基底尺寸为2.5~3.5cm x 1.5~2.0cm。