[发明专利]由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂及其合成方法

权利要求书

1.一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂，其特征在于，所述磺酸锍盐类光酸产生剂的结构通式为式I：

式中，R₁为中的一种；R₂为共价键、烷基、环烷基、含酯基的烷基和含氟烷基中的一种。

2.根据权利要求1所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂，其特征在于，所述磺酸锍盐类光酸产生剂的结构式为式II、式III和式IV中的一种：

3.一种如权利要求1～2中任一项所述的由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，包括以下步骤：

将柏木醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体；

将所述中间体与(环己-1,5-二烯基氧基)-三甲基-硅烷、四亚甲基亚砜、三氟乙酸酐进行反应，得到所述磺酸锍盐类光酸产生剂。

4.根据权利要求3所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为含羧基的磺酸盐；所述将柏木醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：

将柏木醇与含羧基的磺酸盐进行酯化反应，得到中间体；所述中间体为含有柏木醇酯基的磺酸盐。

5.根据权利要求3所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为含羟基的磺酸盐；所述将柏木醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：

将柏木醇与含羟基的磺酸盐进行反应，得到中间体；所述中间体为含有柏木醇碳酸酯基的磺酸盐。

6.根据权利要求3所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为含羟基的磺酸盐；所述将柏木醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：

将柏木醇与含酯基的卤代物进行反应，得到含酯基的醚类化合物；

将所述含酯基的醚类化合物在碱性条件下进行酯基水解，并调至酸性后，得到含羧基的醚类化合物；

将所述含羧基的醚类化合物与含羟基的磺酸盐进行酯化反应，得到中间体；所述中间体为含有酯基的磺酸盐。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为磺酸钠盐类化合物、磺酸钾盐类化合物和磺酸锂盐类化合物中的一种。

8.根据权利要求4或6所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述酯化反应采用对甲基苯磺酸作为催化剂。

9.根据权利要求5所述的一种由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述将柏木醇与含羟基的磺酸盐进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：

将柏木醇与含羟基的磺酸盐置于含有吡啶和二(三氯甲基)碳酸酯的体系下进行反应，得到中间体。

10.一种如权利要求1～2中任一项所述的由柏木醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂在光刻材料中的应用。