[发明专利]由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂及其合成方法

权利要求书

1.一种由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂，其特征在于，所述磺酸锍盐类光酸产生剂的结构通式为式I：

式中，R₁为中的一种；R₂为烷基、环烷基、含酯基的烷基和含氟烷基中的一种。

2.根据权利要求1所述的一种由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂，其特征在于，所述磺酸锍盐类光酸产生剂的结构式为式II、式III和式IV中的一种：

3.一种如权利要求1～2中任一项所述的由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，包括以下步骤：

将beta-桉叶醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体；

将所述中间体与(环己-1,5-二烯基氧基)-三甲基-硅烷、四亚甲基亚砜、三氟乙酸酐进行反应，得到所述磺酸锍盐类光酸产生剂。

4.根据权利要求3所述的一种由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为含羧基的磺酸盐；所述将beta-桉叶醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：

将beta-桉叶醇与含羧基的磺酸盐进行酯化反应，得到中间体；所述中间体为含有beta-桉叶醇酯基的磺酸盐。

5.根据权利要求3所述的一种由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为含羟基的磺酸盐；所述将beta-桉叶醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：

将beta-桉叶醇与含羟基的磺酸盐进行反应，得到中间体；所述中间体为含有beta-桉叶醇碳酸酯基的磺酸盐。

6.根据权利要求3所述的一种由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为含羟基的磺酸盐；所述将beta-桉叶醇与磺酸盐类化合物进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：

将beta-桉叶醇与含酯基的卤代物进行反应，得到含酯基的醚类化合物；

将所述含酯基的醚类化合物在碱性条件下进行酯基水解，并调至酸性后，得到含羧基的醚类化合物；

将所述含羧基的醚类化合物与含羟基的磺酸盐进行酯化反应，得到中间体；所述中间体为含有酯基的磺酸盐。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的一种由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述磺酸盐类化合物为磺酸钠盐类化合物、磺酸钾盐类化合物和磺酸锂盐类化合物中的一种。

8.根据权利要求4或6所述的一种由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述酯化反应采用对甲基苯磺酸作为催化剂。

9.根据权利要求5所述的一种由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂的合成方法，其特征在于，所述将beta-桉叶醇与含羟基的磺酸盐进行反应，得到中间体的步骤，具体包括：

将beta-桉叶醇与含羟基的磺酸盐置于含有吡啶和二(三氯甲基)碳酸酯的体系下进行反应，得到中间体。

10.一种如权利要求1～2中任一项所述的由beta-桉叶醇合成的磺酸锍盐类光酸产生剂在光刻材料中的应用。