[发明专利]一种单色仪

说明书

本发明提供的单色仪，包括：入射狭缝、准直镜、第一光栅、第二光栅、聚焦镜及出射狭缝，入射光经所述入射狭缝后由所述准直镜反射变为平行光束，所述平行光束经所述第一光栅及第二光栅两次色散后入射到所述聚焦镜上，并由所述聚焦镜会聚，最终从所述出射狭缝出射，本发明提供的单色仪，采用交叉式光路结构，可减小杂散光的同时，保证仪器的小型化，同时，其内部光线连续经过两个反射光栅的色散，使得单色仪具有更高的光谱分辨率，从而实现更精密的单色光输出。

技术领域

本发明涉及光谱仪器技术领域，特别涉及一种单色仪。

背景技术

单色仪是光谱仪器的一种，可将复色光色散为单色光，常应用于光谱检测和分析等方面。近年来，随着光电技术的迅速发展，对单色仪这种测量仪器的分辨率、杂散光、精度方面也提出了更高的要求。

一般单色仪结构包括入射狭缝、准直镜、色散元件、聚焦镜和出射狭缝，而单色仪的光谱分辨率由其自身结构参数决定，包括狭缝的宽度、仪器的焦距、色散元件参数等。通常，在单色仪光学元件参数不变的情况下，为了获得更高的光谱分辨率，可以将两个单色仪进行联用，从而形成双单色仪结构，但是，这样的系统结构较为庞大、不易装调且造价高，且由于多个单色仪联用造成光路拉长，光能量损失也较多。

发明内容

有鉴如此，有必要针对现有技术存在的缺陷，提供一种结构简单易于安装的单色仪。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种单色仪，包括：入射狭缝、准直镜、第一光栅、第二光栅、聚焦镜及出射狭缝，入射光经所述入射狭缝后由所述准直镜反射变为平行光束，所述平行光束经所述第一光栅及第二光栅两次色散后入射到所述聚焦镜上，并由所述聚焦镜会聚，最终从所述出射狭缝出射。

在一些较佳的实施例中，所述入射光与从所述第二光栅出射的光线垂直，从所述出射狭缝出射的光线与从所述第一光栅出射的光线平行。

在一些较佳的实施例中，所述第一光栅与所述第二光栅同步进行转动可使不同波长的单色光从所述出射狭缝出射。

在一些较佳的实施例中，所述入射狭缝与出射狭缝为同等宽度的长条狭缝。

在一些较佳的实施例中，所述准直镜与聚焦镜为参数相同的球面反射镜。

本发明采用上述技术方案的优点是：

本发明提供的单色仪，包括：入射狭缝、准直镜、第一光栅、第二光栅、聚焦镜及出射狭缝，入射光经所述入射狭缝后由所述准直镜反射变为平行光束，所述平行光束经所述第一光栅及第二光栅两次色散后入射到所述聚焦镜上，并由所述聚焦镜会聚，最终从所述出射狭缝出射，本发明提供的单色仪，采用交叉式光路结构，可减小杂散光的同时，保证仪器的小型化，同时，其内部光线连续经过两个反射光栅的色散，使得单色仪具有更高的光谱分辨率，从而实现更精密的单色光输出。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本发明实施例提供的一种单色仪的结构示意图。

图2是本发明实施例提供的200nm、200.3nm、200.6nm点列图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。