[发明专利]一种阻止PCB表面发生金属离子迁移的方法在审

专利信息
申请号: 201911381624.1 申请日: 2019-12-27
公开(公告)号: CN111132466A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 龚文;罗志军;陈海力;黄见 申请(专利权)人: 苏州晶台光电有限公司
主分类号: H05K3/28 分类号: H05K3/28
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 陈伟斌
地址: 215699 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 阻止 pcb 表面 发生 金属 离子 迁移 方法
【权利要求书】:

1.一种阻止PCB表面发生金属离子迁移的方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1:将需镀膜处理的PCB板进行等离子清洗;

S2:将清洗后的PCB板放置在衬板上,其中镀膜处理面朝上;

S3:将衬板放进镀膜真空设备内进行抽真空处理,真空度控制在10-3至10-5Pa之间;

S4:对PCB板进行镀膜处理,镀膜材料为SiO2、TiO2、Al2O2、Si3N4、AlN中的一种或多种,镀膜工艺为电子束蒸发、磁控溅射或原子层沉积中的一种,镀膜温度控制在50-120摄氏度之间;

S5:镀膜完成后,待PCB板冷却至室温后取出,并及时放入氮气柜进行保存。

2.根据权利要求1所述的一种阻止PCB表面发生金属离子迁移的方法,其特征在于,镀膜厚度控制在10-1000nm之间。

3.根据权利要求1所述的一种阻止PCB表面发生金属离子迁移的方法,其特征在于,真空度控制在10-4Pa。

4.根据权利要求1所述的一种阻止PCB表面发生金属离子迁移的方法,其特征在于,镀膜材料采用SiO2

5.根据权利要求1所述的一种阻止PCB表面发生金属离子迁移的方法,其特征在于,镀膜工艺采用磁控溅射。

6.根据权利要求1所述的一种阻止PCB表面发生金属离子迁移的方法,其特征在于,镀膜温度为100摄氏度。

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