[发明专利]一种防溅回收组件有效
| 申请号: | 201911381172.7 | 申请日: | 2019-12-27 |
| 公开(公告)号: | CN111085491B | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
| 发明(设计)人: | 邓信甫 | 申请(专利权)人: | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆英静 |
| 地址: | 200241 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 回收 组件 | ||
1.一种防溅回收组件,其特征在于,包括:
多个升降机构,每个所述升降机构的升降端设置有多个回收环,每个所述回收环的上方对应设置有防溅板,相邻的防溅板之间形成引流槽道;所述升降机构包括第一升降机构和第二升降机构,所述第一升降机构的升降端设置有第一回收环、第二回收环和第三回收环,其中,所述第三回收环固定在所述第一升降机构的升降端,所述第二回收环位于所述第三回收环的回收腔体中,所述第一回收环固定在所述第三回收环上;所述第一回收环包括:第一回收板、防溅罩和第一防溅板,其中,所述第一回收板用于固定在所述第三回收环上,所述防溅罩自所述第一回收板向靠近所述清洗盘的方向延伸,所述第一防溅板自所述第一回收板或所述防溅罩向靠近所述清洗盘的方向延伸;所述第三回收环包括提耳、第三外层回收板、第三内层回收板和第三防溅板,其中,所述提耳与所述第一升降机构的升降端固定;所述第三外层回收板自所述提耳沿轴向向下延伸,所述第三内层回收板自所述第三外层回收板沿轴向向上延伸,并与所述第三外层回收板之间形成回收腔体,所述第三防溅板自所述第三内层回收板向靠近清洗盘的方向延伸;所述第二回收环包括第二回收板和第二防溅板,其中,所述第二回收板上设置有第一导向孔,所述第一导向孔沿轴向延伸,所述第三内层回收板穿过所述第一导向孔,并能够在所述第一导向孔内沿轴向滑动;所述第二防溅板自所述第二回收板向所述清洗盘的方向延伸;且所述第二防溅板与所述第一防溅板之间形成第一引流槽道,所述第二防溅板与所述第三防溅板之间形成第二引流槽道;
控制器,所述控制器接收清洗指令并控制对应的所述升降机构的升降以使对应的防溅板与清洗盘持平。
2.如权利要求1所述的防溅回收组件,其特征在于,所述第一防溅板的表面设置有第一隔离环圈。
3.如权利要求1所述的防溅回收组件,其特征在于,所述第二防溅板的表面设置有第二隔离环圈。
4.如权利要求3所述的防溅回收组件,其特征在于,所述第二防溅板的内部嵌设有第一喷液导管,所述第二防溅板的上表面设置有与所述第一喷液导管连通的第一喷嘴。
5.如权利要求4所述的防溅回收组件,其特征在于,所述第三防溅板的表面设置有第三隔离环圈。
6.如权利要求5所述的防溅回收组件,其特征在于,所述第三防溅板的内部嵌设有第二喷液导管,所述第三防溅板的上表面设置有与所述第二喷液导管连通的第二喷嘴。
7.如权利要求1所述的防溅回收组件,其特征在于,所述第二升降机构的升降端设置有外罩、第四回收环、第五回收环和第六回收环,其中,所述外罩固定在所述第二升降机构的升降端,所述第四回收环和第五回收环固定在所述外罩上,所述第六回收环设置在所述第五回收环上。
8.如权利要求7所述的防溅回收组件,其特征在于,所述第四回收环包括第四内层回收板、第四外层回收板、第四防溅板和第五防溅板,所述第四防溅板自所述第四外层回收板向所述清洗盘的方向延伸,第五防溅板自所述第四内层回收板向所述清洗盘的方向延伸,所述第四防溅板与所述第三防溅板之间形成第三引流槽道,所述第四防溅板与所述第五防溅板之间形成第四引流槽道,所述第四内层回收板与所述第四外层回收板之间形成回收腔体;
所述第五回收环包括自所述第四内层回收板向轴向延伸的第五回收板,所述第五回收板与所述第四内层回收板之间形成回收腔体。
9.如权利要求8所述的防溅回收组件,其特征在于,所述第四防溅板的表面设置有第四隔离环圈;
所述第五防溅板的表面设置有第五隔离环圈。
10.如权利要求8所述的防溅回收组件,其特征在于,所述第四防溅板的内部嵌设有第三喷液导管,所述第三防溅板的上表面设置有与所述第三喷液导管连通的第三喷嘴;
所述第五防溅板的内部嵌设有第四喷液导管,所述第五防溅板的上表面设置有与所述第四喷液导管连通的第四喷嘴。
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