[发明专利]一种微通道板固定装置

说明书

本申请提供了一种微通道板固定装置，包括环形底座，依次叠压在所述底座上的收集极、第二弹性压环、绝缘板、微通道板底座、绝缘定位环、微通道板、弧形定位环、第一弹性压环，所述第二弹性压环和所述底座夹持所述收集极，实现对所述收集极的上表面、侧面、下表面定位；所述弧形定位环、绝缘定位环和所述微通道板底座夹持所述微通道板，实现对所述微通道板的上表面、侧面、下表面定位。本申请的一种微通道通道板的固定装置，可以对微通道板进行减震固定，保证微通道板两面受力均匀，弹性压圈具有一定的弹性缓冲能力，通过设计控制压圈的弹性模量做到对微通道板固定所需压紧力的精准控制。

技术领域

本申请涉及光电探测领域，更具体的，涉及一种微通道板固定装置。

背景技术

微通道板是由可多达数百万甚至千万以上的平行排列的4～12μm通道孔径和6～15μm孔间距的玻璃通道结合而成的通道阵列，再按一定角度斜切而成的厚度在0.25～0.80mm量级的玻璃薄片，微通道板两侧镀有导电薄膜，多孔状结构极其脆弱。基于微通道板的探测器工作在负高电压条件下，器件表面轻微损伤等极可能引起高压放电，造成探测器无法使用。

现有微通道板固定装置，一般采取弹性元件对微通道板进行固定，申请号为201720100511.X的专利，虽然用L形弹簧压圈解决了梯形弹簧压圈压力过大大问题，但也只是将压圈所产生的压力减小，提高了一定的良品率，未从根本上解决微通道板装配问题。

申请号为201610335825.8的专利和申请号为201610335825.8的专利，采用弹簧加缓冲块的方式固定微通道板，虽然考虑了减震问题，但装置存在受力不均等问题，微通道板局部压力可能过大。使用橡胶不能应用于密封式探测器中，限制了微通道板的应用场合。

申请号为201810092982.X的专利，采用背部中间放置弹簧的方式固定微通道板与收集极，微通道板与收集极一起固定，收集极与微通道板需要的压紧力不一致，无法保证每个元件的力学需求，限制了微通道板的应用场合。

申请号为201020634403.9使用橡胶进行减震，橡胶放气问题影响真空度，限制了微通道板使用场合。

发明内容

为解决上述技术问题，本申请提供一种微通道板固定装置，实现对微通道板的减振固定，保证微通道板两面受力均匀，控制精准。

本申请提供的一种微通道板固定装置，包括环形的底座，依次叠压在所述底座上的收集极、第二弹性压环、绝缘板、微通道板底座、绝缘定位环、微通道板、弧形定位环、第一弹性压环，

所述第二弹性压环和所述底座夹持所述收集极，实现对所述收集极的上表面、侧面、下表面定位；

所述弧形定位环、绝缘定位环和所述微通道板底座夹持所述微通道板，实现对所述微通道板的上表面、侧面、下表面定位。

进一步的，所述底座的上表面设置有第一凹槽，所述收集极设置在所述第一凹槽内。

进一步的，所述弧形定位环的下表面设置第二凹槽，所述第二凹槽与所述微通道板的边缘接触。

进一步的，所述绝缘定位环设置在所述弧形定位环的外周。

进一步的，所述弧形定位环为由四个彼此之间具有调节间隙的圆弧构成的圆环，所述圆环的直径与所述微通道板的尺寸相匹配。

进一步的，所述弧形定位环的上表面外周设置倾斜的斜面。

进一步的，所述第一弹性压环经过弹性模量计算，设计为弹性压力可控的多弯曲回路结构，用于固定所述微通道板。

进一步的，所述第二弹性压环经过弹性模量计算，设计为弹性压力可控的多弯曲回路结构，用于固定所述收集极。

进一步的，所述第一弹性压环和所述微通道板底座上设置能够焊接电极的位置，用于加载工作电压。