[发明专利]一种双通道灯箱冷却系统

说明书

本发明公开了一种双通道灯箱冷却系统，包括气体循环系统、冷却流体系统和检测控制系统，气体循环系统包括进风通道、末端系统、回风通道、气体换热器和气体汇流装置，冷却流体系统包括第一截止阀、流量调节阀和第二截止阀。本发明采用气体换热器带走灯箱内灯管发出的热量，经过气体换热器把热量转移到冷却介质，进而实现整个系统的温控，过程中经温度传感器采集信号后，由微电脑处理系统分析后控制冷却流体流量调节阀开度，进而控制冷却流体的流量，进而实现整个系统温度控制，通用性强，满足控温要求高或循环气体特殊等的工况需求。

技术领域

本发明涉及紫外或者红外灯箱技术领域，具体涉及一种一种双通道灯箱冷却系统。

背景技术

UV(ultraviolet)指的是紫外线，分为真空，短波，中波，长波，超长波四种。紫外线指的是电磁波谱中波长从10nm～400nm辐射的总称，人们不能看到。1801年德国物理学家里特发现在日光光谱的紫端外侧一段能够使含有溴化银的照相底片感光，因而发现了紫外线的存在。

红外是红外线的简称，它是一种电磁波。它可以实现数据的无线传输。自1800年被发现以来，得到很普遍的应用，如红外线鼠标，红外线打印机，红外线键盘等等。红外的特征：红外传输是一种点对点的传输方式，无线，不能离的太远，要对准方向，且中间不能有障碍物也就是不能穿墙而过，几乎无法控制信息传输的进度。

目前，半导体行业水平已经上升到大国竞争的重要领域，是我国近阶段必须突破并占领行业制高点的战略需求。其中，半导体各个环节设备母机的国产化正逐步推进，紫外固化设备为前道制程的重要环节，也是需要突破的环节，其在防潮湿保护涂层，晶元掩膜，晶元污染检验，紫外胶带的曝光，晶元抛光检查有点突出。紫外灯在工作时会有一部分能量转化为热量，为保证灯管合理的工作温度范围需要引入温控设备，因此配套的温控设备也需配套解决。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，提供一种双通道灯箱冷却系统，通用性强，能够满足控温要求高或循环气体特殊等的工况需求。

技术方案：为实现上述目的，本发明提供一种双通道灯箱冷却系统，包括气体循环系统、冷却流体系统和检测控制系统；

所述气体循环系统包括进风通道、末端系统、回风通道、气体换热器和气体汇流装置，所述末端系统为两个相互独立的灯箱系统，分别包括第一灯箱和第二灯箱，所述进风通道为双通道，分别为第一通道和第二通道，所述第一通道和第二通道分别包括第一循环风机、第一出风静压箱和第二循环风机、第二出风静压箱，所述第一出风静压箱和第二出风静压箱分别与第一灯箱和第二灯箱对应连通，所述气体汇流装置设置于进风通道的进风端，所述气体换热器设置于气体汇流装置的进风端，所述回风通道的进风口和出风口分别设置于末端系统的出风端和气体换热器的进风端；

所述冷却流体系统包括第一截止阀、流量调节阀和第二截止阀，所述第一截止阀和第二截止阀分别设置在气体换热器的冷却流体介质进口端和冷却流体介质出口端，所述流量调节阀设置在冷却流体介质进口端和第一截止阀之间；

所述检测控制系统包括用于检测冷却流体介质进口温度的第五温度传感器、用于检测冷却流体介质出口温度的第六温度传感器、用于检测第一循环风机出口循环气体温度的第一温度传感器、用于检测第二循环风机出口循环气体温度的第三温度传感器、分别用于检测第一灯箱内部循环气体压力与温度的第一压力传感器和第二温度传感器、分别用于检测第二灯箱内部循环气体压力与温度的第二压力传感器和第四温度传感器、用于检测回风循环气体压力的第三压力传感器、用于检测循环气体浓度的气体浓度传感器。

进一步的，所述气体浓度传感器设置在气体浓度检测回路上，所述气体浓度检测回路的进口位于回风通道的进口处，所述气体浓度检测回路的出口位于气体换热器的进口处。

进一步的，所述气体浓度检测回路上设置有用于引入检测浓度气体的气体循环泵。