[发明专利]一种实现超高速曝光的设备

权利要求书

1.一种实现超高速曝光的设备，其特征在于，包括光学部，所述光学部包括DMD微镜器(5)、N个光学镜组，N个所述光学镜组阵列设置在DMD微镜器(5)正前方，设定DMD微镜器(5)在每一行光刻时与待处理部件相对移动的方向为行方向，所述光学镜组的阵列方向与行方向相同，DMD微镜器(5)经过N个光学镜组后在列方向形成N个连续条带的图像数据。

2.根据权利要求1所述的一种实现超高速曝光的设备，其特征在于，所述光学镜组在列方向的长度均大于DMD微镜器(5)在列方向上的长度。

3.根据权利要求2所述的一种实现超高速曝光的设备，其特征在于，所述光学镜组包括依次设置的第一光学镜组、第二光学镜组、第三光学镜组，所述第一光学镜组和第三光学镜组均包括两个棱镜，两个棱镜可组成平行四边形，所述第一光学镜组中两棱镜使光束向DMD微镜器(5)所在列的右侧列折射后再直射，所述第二光学镜组使光束朝DMD微镜器(5)所在列的正下方直射，第三光学镜组中两棱镜使光束向DMD微镜器(5)所在列的左侧列折射后再直射。

4.根据权利要求3所述的一种实现超高速曝光的设备，其特征在于，折射产生的位移不大于DMD微镜器(5)列方向上的宽度。

5.根据权利要求3所述的一种实现超高速曝光的设备，其特征在于，所述第一光学镜组包括斜边重合后为平行四边形的第一三角棱镜(61)和第二三角棱镜(62)，所述第一三角棱镜(61)和第二三角棱镜(62)在DMD微镜器(5)和行运动平台(2)之间依次设置，所述第一三角棱镜(61)和第二三角棱镜(62)相对的平行斜边从靠近DMD微镜器(5)一端到另一端的方向为DMD微镜器(5)发射出的光束折射方向；所述第二光学镜组包括平行四边形透镜(71)；所述第三光学镜组包括斜边重合后为平行四边形的第三三角棱镜(81)和第四三角棱镜(82)，所述第三三角棱镜(81)和第四三角棱镜(82)相对的平行斜边从靠近DMD微镜器(5)一端到另一端的方向为DMD微镜器(5)发射出的光束折射方向。

6.根据权利要求1所述的一种实现超高速曝光的设备，其特征在于，还包括支撑座(1)、行运动平台(2)、列运动平台(4)、支撑框架(3)，所述支撑框架(3)架设在支撑座(1)上，所述行运动平台(2)和列运动平台(4)分别对应设置在支撑座(1)和支撑框架(3)上，所述DMD微镜器(5)设置在列运动平台(4)上，所述待处理部件设置在行运动平台(2)上。

7.根据权利要求6所述的一种实现超高速曝光的设备，其特征在于，所述DMD微镜器(5)与列运动平台(4)之间还设置有垂直于行运动平台(2)的竖向导轨(42)。

8.根据权利要求6所述的一种实现超高速曝光的设备，其特征在于，还包括计算机，所述计算机用于对待曝光的图形做曝光前的预处理，计算机还与光学部的DMD微镜器(5)的控制板连接，将预处理的结果发送到DMD微镜器(5)的控制板中，计算机与行运动平台(2)和列运动平台(4)的受控端连接，控制行运动平台(2)和列运动平台(4)的运动路径和时间节点；所述计算机还与激光器、聚焦模块对应连接，所述计算机控制激光器发出DMD微镜器(5)所需要的激光，并控制聚焦模块对光调焦。

9.根据权利要求6所述的一种实现超高速曝光的设备，其特征在于，还包括吸气子模块、用于控制设备内部温湿度的温湿度子模块、显示工作状态的显示子模块，所述吸气子模块包括用于吸住待处理部件的吸盘，所述吸盘设置在行运动平台(2)上。