[发明专利]对称双泵结构的高温湿度传感器

权利要求书

1.一种对称双泵结构的高温湿度传感器，其特征在于：包括从上到下依次烧结而成的加热器层(1)、第一出气通道层(2)、第一固体电解质层(3)、第二固体电解质层(4)、第二出气通道层(5)和工作电极引脚层(6)，所述加热器层(1)、第一出气通道层(2)和第一固体电解质层(3)与第二固体电解质层(4)、第二出气通道层(5)和工作电极引脚层(6)呈上下对称分布；

所述第一固体电解质层(3)上设有第一泵电极(9)和下公共电极(10)，所述第一泵电极(9)分布在第一固体电解质层(3)与第一出气通道层(2)之间，所述第一泵电极(9)通过导线连接在第一泵电极过孔(29)上；所述下公共电极(10)设置在第一固体电解质层(3)上与第一泵电极(9)相背的一侧，所述下公共电极(10)通过导线连接在下公共电极过孔(27)上，所述第一泵电极过孔(29)和下公共电极过孔(27)分布在第一固体电解质层(3)上，所述第一固体电解质层(3)上还设有第二电极过孔(28)，所述下公共电极过孔(27)、第一泵电极过孔(29)和第二电极过孔(28)呈三孔插座式排布；

所述第二固体电解质层(4)上设有第二泵电极，第二泵电极包括上公共电极(14)和第二泵电极(15)，所述第二泵电极(15)分布在第二固体电解质层(4)和第二出气通道层(5)之间，所述第二泵电极(15)通过导线连接在第二泵电极过孔(24)上；所述上公共电极(14)设置在第二固体电解质层(4)上与第二泵电极(15)相背的一侧，所述上公共电极(14)通过导线连接在上公共电极过孔(25)上，所述第二泵电极过孔(24)与上公共电极过孔(25)分布在第二固体电解质层(4)上，所述第二固体电解质层(4)上还设有第一电极过孔(26)，所述上公共电极过孔(25)、第二泵电极过孔(24)和第一电极过孔(26)呈三孔插座式排布；

当第一固体电解质层(3)与第二固体电解质层(4)叠放在一起时，所述下公共电极过孔(27)与上公共电极过孔(25)相连通，所述第一泵电极过孔(29)与第一电极过孔(26)相连通，所述第二电极过孔(28)与第二泵电极过孔(24)相连通；

所述加热器层(1)上与第一出气通道层(2)相对的一侧排布有加热器(7)，所述加热器(7)通过加热器引线连接在加热器电极过孔(30)上，所述加热器电极过孔(30)连接在加热电极引脚(17)上，所述加热电极引脚(17)设置在加热器层(1)上，与加热器(7)相背的一侧。

2.根据权利要求1所述的对称双泵结构的高温湿度传感器，其特征在于：所述第一出气通道层(2)与第一泵电极(9)相对的一侧设有第一出气通道(18)，所述第一出气通道(18)两端分别连通参比气与第一泵电极(9)；所述第二出气通道层(5)与第二泵电极(15)相对的一侧设有第二出气通道(19)，所述第二出气通道(19)两端分别连通参比气与第二泵电极(15)；所述下公共电极(10)与上公共电极(14)之间设有进气扩散障(12)，所述进气扩散障(12)连通待测气体与下公共电极(10)与上公共电极(14)。

3.根据权利要求1所述的对称双泵结构的高温湿度传感器，其特征在于：所述第一泵电极(9)与第一出气通道层(2)之间设有第一泵电极保护层(8)，所述第一泵电极保护层(8)完全覆盖第一泵电极(9)；所述第二泵电极(15)与第二出气通道层(5)之间设有第二泵电极保护层(16)，所述第二泵电极保护层(16)完全覆盖第二泵电极(15)；所述下公共电极(10)与第一固体电解质层(3)相背的一侧设有下公共电极保护层(11)，所述上公共电极(14)与第二固体电解质层(4)相背的一侧设有上公共电极保护层(13)。

4.根据权利要求1所述的对称双泵结构的高温湿度传感器，其特征在于：所述第二出气通道层(5)上设有三个工作电极过孔(20)，分别对应连接第二固体电解质层(4)上的上公共电极过孔(25)、第二泵电极过孔(24)和第一电极过孔(26)，所述工作电极引脚层(6)上设有第一泵电极引脚(21)、第二泵电极引脚(22)和公共电极引脚(23)，分别对应第二出气通道层(5)上的三个工作电极过孔(20)。