[发明专利]一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法

权利要求书

1.一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤1：包括用于回收四氟化碳废气中六氟乙烷的热分解提纯装置（100），并通过设置在管路上流量计控制原料流量，通过所述热分解提纯装置（100）去除可热分解的微氧，使其转化为可以吸附、精馏去除的化合物；

步骤2：将步骤1中经过所述热分解提纯装置（100）后含有微氧和六氟乙烷的四氟化碳通过管道输送至微氧吸附再生装置（200）；所述微氧吸附再生装置（200）在通入氢气活化合格后，所述微氧吸附再生装置（200）在脱氧剂的作用下能够自行分解去除四氟化碳中微量氧化性物质；并将微氧转换成容易吸附、精馏去除的氢气、二氧化碳、一氧化碳、卤代烃；再经过精密过滤器去除含有六氟乙烷的四氟化碳的固体杂质；

步骤3：将步骤2中所述微氧吸附再生装置（200）经过精密过滤后，进入分馏装置（300），所述分馏装置（300）排出的四氟化碳气体返回四氟化碳生产线中，以提高四氟化碳回收率；

步骤4：将步骤3中含有少量杂质的六氟乙烷依次经过汽化器（400）汽化后进入缓冲罐（500）；并使用隔膜式压缩机（600）增压将所述缓冲罐（500）中的六氟乙烷进入带压运行的吸附塔（700）；所述吸附塔（700）的吸附温度为常温；

步骤5：将所述吸附塔（700）吸附后的六氟乙烷气体再经过预冷器（800）预冷后依次通过高沸精馏塔（900）和低沸精馏塔（1000）去除杂质；

步骤6：将经过步骤5的六氟乙烷气体检测合格后通入低温产品储罐（1100），并使用液体泵（1200）将所述低温产品储罐（1100）合格六氟乙烷气体经再次精密过滤后充装到产品包装容器（1300）内。

2.如权利要求1所述的一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，其特征在于：

所述吸附塔（700）的吸附压力为0.15～0.80MPa;

所述吸附塔（700）中装填分子筛吸附剂，所述分子筛吸附剂选自3A分子筛、4A分子筛、5A分子筛、NaX分子筛和13X分子筛中的至少一种。

3.如权利要求1所述的一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，其特征在于：

所述高沸精馏塔（900）用于去除夹杂在六氟乙烷气体中的高沸点杂质；高沸点杂质生产在所述高沸精馏塔（900）的底部，包括氟碳、氟硫、氟碳氢多种重组分杂质。

4.如权利要求1所述的一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，其特征在于：

所述低沸精馏塔（1000）用于去除夹杂在六氟乙烷气体中低沸点杂质；低沸点杂质生产在所述低沸精馏塔（1000）的顶部，包括氧、氮、氢、一氧化碳、四氟化碳、甲烷多种轻组分杂质。

5.如权利要求1所述的一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，其特征在于：

所述微氧吸附再生装置（200）内具有A型分子筛吸附剂、铝胶干燥剂和催化剂组合吸附剂；通过通入氢气升温脱附再生，脱水、除微氧、除氮气、二氧化碳和除固体颗粒杂质；并能够使四氟化碳气体中的微氧控制在＜0.5ppm。