[发明专利]一种蚀刻设备的节能型自动调压泵

权利要求书

1.一种蚀刻设备的节能型自动调压泵，包括调压泵(1)，其特征在于：所述调压泵(1)的内部固定安装有输水管道(2)，所述输水管道(2)的左侧依次固定安装有变频器(3)和管道连接器(4)，所述管道连接器(4)内部固定安装有管道连接器控制装置(5)，所述管道连接器控制装置(5)包括T形旋钮(501)，所述T形旋钮(501)的底部左侧固定安装有卡槽(502)，所述T形旋钮(501)的底部固定安装有三号传动杆(503)，所述三号传动杆底部固定安装有一号齿轮(504)，所述管道连接器(4)内部设置有一号定位杆(505)，所述一号定位杆(505)的底部左侧固定安装有一号转轴(506)，所述一号转轴(506)的外部铰接有二号齿轮(507)，所述输水管道(2)的内部设置有二号定位杆(508)，所述二号定位杆(508)的顶部固定安装有二号转轴(509)，所述二号转轴(509)的外侧铰接有三号齿轮(510)，所述输水管道(2)的内部设置有三号定位杆(511)，所述三号定位杆(511)的左侧固定安装有三号转轴(512)，所述三号转轴(512)的外侧铰接有四号齿轮(513)，所述输水管道(2)的内部设置有四号定位杆(514)，所述四号定位杆(514)的顶部固定安装有四号转轴(515)，所述四号转轴(515)的外侧铰接有五号齿轮(516)，所述管道连接器(4)的内部设置有限位档杆(517)，所述管道连接器(4)的顶端固定安装有旋钮限位器(518)，所述管道连接器(4)内部顶端固定安装有一号传动杆(6)且内侧固定安装有二号卡齿组(12)，所述一号传动杆(6)底部固定安装有一号固定块(7)，所述管道连接器(4)的内部设置有二号传动杆(8)且内侧固定安装有一号卡齿组(11)，所述二号传动杆(8)的底部固定安装有二号固定块(9)，所述管道连接器(4)的顶部右侧固定设置有二号传动杆运动口(10)。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的节能型自动调压泵，其特征在于：所述连接器控制装置(5)一共有4组，对称安装在输水管道(2)的四周。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的节能型自动调压泵，其特征在于：所述三号齿轮(510)分别与一号卡齿组(11)和二号齿轮(507)啮合，所述五号齿轮(507)与一号齿轮(504)啮合连接，所述四号齿轮(513)与五号齿轮(513)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的节能型自动调压泵，其特征在于：所述一号传动杆(6)、一号固定块(7)、二号传动杆(8)、二号固定块(9)、一号卡齿组(11)、二号卡齿组(12)均有4个，分别与4组连接器控制装置(5)连接。

5.根据权利要求1所述的一种一种蚀刻设备的节能型自动调压泵，其特征在于：所述旋钮(501)向下按动，三号传动杆(503)带动一号齿轮(504)向下运动，使一号齿轮(504)与四号齿轮(513)啮合连接。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的节能型自动调压泵，其特征在于：所述旋钮限位器(518)包括旋钮限位器外壳(5181)，所述旋钮限位器外壳(5181)的顶部固定安装有滑动开关活动槽(5182)，所述滑动开关活动槽(5182)内部设置有滑动开关(5183)，所述滑动开关(5183)的底部固定安装有L形限位杆(5184)。