[发明专利]横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台

权利要求书

1.一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，该精密压电粘滑直线平台由导轨组件Ⅰ（1）、移动平台固定螺栓（2）、移动平台（3）、驱动组件（4）、导轨组件Ⅱ（5）和底座组件（6），其中，所述导轨组件Ⅰ（1）固定安装在底座组件（6）上，并通过移动平台固定螺栓（2）与移动平台（3）紧固连接，所述驱动组件（4）固定安装在底座组件（6）上，并与导轨组件Ⅰ（1）相接触，所述导轨组件Ⅱ（5）分别与移动平台（3）和底座组件（6）螺纹连接。

2.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述导轨组件Ⅰ（1）包括固定导轨Ⅰ安装螺栓（1-1）、导轨保持架Ⅰ（1-2）、固定导轨Ⅰ（1-3）和活动导轨Ⅰ（1-4），所述固定导轨Ⅰ（1-3）设有固定导轨Ⅰ安装面（1-3-1）和固定导轨Ⅰ安装孔（1-3-2），所述活动导轨Ⅰ（1-4）设有活动导轨Ⅰ安装面（1-4-1）、活动导轨Ⅰ安装螺纹孔（1-4-2）和活动导轨Ⅰ驱动面（1-4-3），所述导轨保持架Ⅰ（1-2）安装在固定导轨Ⅰ（1-3）和活动导轨Ⅰ（1-4）之间，所述固定导轨Ⅰ安装螺栓（1-1）穿过固定导轨Ⅰ安装孔（1-3-2）与底座组件（6）螺纹连接，固定安装固定导轨Ⅰ（1-3），所述固定导轨Ⅰ安装面（1-3-1）与底座组件（6）相贴合，所述活动导轨Ⅰ安装面（1-4-1）与移动平台（3）相贴合，所述活动导轨Ⅰ安装螺纹孔（1-4-2）与移动平台固定螺栓（2）螺纹连接，安装紧固活动导轨Ⅰ（1-4），所述活动导轨Ⅰ驱动面（1-4-3）与驱动组件（4）相接触。

3.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述移动平台（3）设有移动平台安装孔（3-1）、移动平台安装面Ⅰ（3-2）、移动平台限位面（3-3）、预紧调节孔（3-4）、移动平台安装螺纹孔（3-5）和移动平台安装面Ⅱ（3-6），所述移动平台安装孔（3-1）内穿过移动平台固定螺栓（2），所述移动平台安装面Ⅰ（3-2）与活动导轨Ⅰ安装面（1-4-1）贴合，所述移动平台限位面（3-3）、移动平台安装螺纹孔（3-5）和移动平台安装面Ⅱ（3-6）与导轨组件Ⅱ（5）连接。

4.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述驱动组件（4）包括压电陶瓷叠堆（4-1）、横梁谐振式铰链定子（4-2）、定子安装螺栓（4-3）、矩形垫片（4-4）和基米螺钉（4-5），所述压电陶瓷叠堆（4-1）置于横梁谐振式铰链定子（4-2）内，并通过基米螺钉（4-5）挤压矩形垫片（4-4）以紧固安装，所述定子安装螺栓（4-3）穿过横梁谐振式铰链定子（4-2），并与底座组件（6）螺纹连接。

5.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述横梁谐振式铰链定子（4-2）可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料，所述横梁谐振式铰链定子（4-2）设有定子基座（4-2-1）、直梁铰链Ⅰ（4-2-2）、直梁铰链Ⅱ（4-2-3）、横梁正交驱动足（4-2-4）、圆弧形铰链（4-2-5）、定子安装孔（4-2-6）和预紧螺纹孔（4-2-7），所述直梁铰链Ⅰ（4-2-2）和直梁铰链Ⅱ（4-2-3）连接横梁正交驱动足（4-2-4）与定子基座（4-2-1），所述圆弧形铰链（4-2-5）连接横梁正交驱动足（4-2-4）与定子基座（4-2-1），使横梁正交驱动足（4-2-4）绕圆弧形铰链（4-2-5）旋转，所述定子基座（4-2-1）两侧设有定子安装孔（4-2-6），所述定子安装孔（4-2-6）内穿过定子安装螺栓（4-3），安装固定横梁谐振式铰链定子（4-2），所述定子基座（4-2-1）后端部设有预紧螺纹孔（4-2-7），所述预紧螺纹孔（4-2-7）与基米螺钉（4-5）螺纹连接。