[发明专利]一种导流筒装置和拉晶炉

权利要求书

1.一种导流筒装置，其特征在于，包括：

上导流筒；

下导流筒，所述下导流筒设置于所述上导流筒的下方；

气流通道，所述气流通道位于所述上导流筒与所述下导流筒之间并且用于分流气体；并且，

所述下导流筒的上边缘位于晶棒的预设位置的下方，所述预设位置为所述晶棒上特征温度区间对应的位置，所述特征温度区间为所述晶棒中空位型本征缺陷发生聚集反应而导致空洞型缺陷快速形核与长大的温度区间；

所述下导流筒外壁的下端呈倒锥形，所述下导流筒的导流面由第一筒形内壁部或由第二筒形内壁部和锥形内壁部组成，所述锥形内壁部位于所述第二筒形内壁部上，所述第一筒形内壁部和所述第二筒形内壁部平行于所述下导流筒中心轴线，且所述锥形内壁部呈倒锥形。

2.根据权利要求1所述的导流筒装置，其特征在于，所述下导流筒的上边缘与所述晶棒上的所述特征温度区间的最高值所对应的位置相平齐。

3.根据权利要求1或2所述的导流筒装置，其特征在于，还包括连接结构，所述连接结构设置在所述气流通道中，且所述上导流筒通过所述连接结构连接至所述下导流筒。

4.根据权利要求3所述的导流筒装置，其特征在于，所述连接结构包括若干连接组件，所述若干连接组件沿所述上导流筒的下边缘间隔开分布。

5.根据权利要求4所述的导流筒装置，其特征在于，所述连接组件包括连接件和套筒，所述连接件的两端分别连接至所述上导流筒和所述下导流筒，所述套筒套设于所述连接件且所述套筒位于所述气流通道中。

6.根据权利要求4所述的导流筒装置，其特征在于，所述连接组件包括遥控式电动齿轮和齿条，所述遥控式电动齿轮设置于所述上导流筒上，所述齿条的一端设置于所述下导流筒上，所述齿条的另一端连接于所述遥控式电动齿轮。

7.根据权利要求6所述的导流筒装置，其特征在于，还包括测温装置、实时控温系统，所述测温装置连接所述实时控温系统，所述实时控温系统电连接所述遥控式电动齿轮，其中，

所述测温装置，用于测量所述晶棒沿轴向的温度分布，并将所述温度分布传输至所述实时控温系统；

所述实时控温系统，用于根据所述温度分布得到所述特征温度区间对应的所述晶棒的位置，并根据所述特征温度区间对应的所述晶棒的位置控制所述遥控式电动齿轮调整所述下导流筒的高度。

8.一种拉晶炉，其特征在于，包括如权利要求1至7任一项所述的导流筒装置。