[发明专利]基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法及装置有效

专利信息
申请号: 201911356372.7 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN111024246B 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 李亚飞;刘广义;江锐;韩晓泉;殷青青;沙鹏飞;冯泽斌 申请(专利权)人: 北京科益虹源光电技术有限公司
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02;H01S3/13
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 100000 北京市大兴区经济*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 基于 标准 测试 波长 补偿 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法,其特征在于,包括:

将可调谐激光器发射出的激光分离出一部分;

对该一部分激光进行绝对校准,在法珀标准具外壳温度为T0时,计算出校准波长的λ0;其中λ0是法珀标准具外壳温度为T0时,空心阴极灯的吸收谱线的波长值;即T0为空心阴极灯的吸收谱线的波长值等于λ0时法珀标准具外壳的温度示数;

周期性地采集法珀标准具的外壳温度T并利用法珀标准具测量所述分离出的一部分激光的波长λ,对获取的法珀标准具的外壳温度T进行平滑处理,根据λ0、T0、λ、T对测试的波长进行校正,得到校正波长λcorr

根据采集到法珀标准具外壳的温度T,计算出相对T0的变化值:T-T0,获取相邻两次温度值的变化时间t,计算温度的变化率△T/△t;根据温度的变化率△T/△t对校正波长λcorr进行更新;

在根据温度的变化率△T/△t对校正波长λcorr进行更新中:

△λ=k1(T-T0)+k2△T/△t①;λcorr=λetalon-△λ②;

在公式①中,△λ为波长漂移量;△T为一定时间间隔内采集的法珀标准具外壳的相邻两次温度之间的差值,△t为对应法珀标准具外壳的相邻两次温度的时间差值;k1为法珀标准具的温度敏感系数,k2为法珀标准具对温度变化率的敏感系数;

公式②为波长校准公式,由①式中计算得出△λ,λetalon为法珀标准具测量的实时波长,λetalon减去△λ得到校正波长λcorr

2.根据权利要求1所述的基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法,其特征在于,对采集到的法珀标准具外壳温度T采用均匀平滑或加权平滑的方式进行平滑处理。

3.根据权利要求2所述的基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法,其特征在于,通过温度传感器每1s采集法珀标准具的外壳温度,并实时进行平滑处理和温度变化率的计算。

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