[发明专利]一种基于菱形矢量归一化的快速相位提取方法有效
申请号: | 201911356316.3 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN110926375B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 姚勇;吴乾超;刘楚彦;淦亚苹;傅艳萍;田佳峻;杨彦甫 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学(深圳) |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25;G06T7/00 |
代理公司: | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人: | 黎健任 |
地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 菱形 矢量 归一化 快速 相位 提取 方法 | ||
1.一种基于菱形矢量归一化的快速相位提取方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1.采集两幅被测物体形貌的干涉图:
在移相值随机未知的情况下,将两幅干涉图表示为:
其中,a(x,y)表示背景光强,b(x,y)表示调制幅度;δ1表示第一幅干涉图的移相值,δ2表示第二幅干涉图的移相值,φ(x,y)表示被测物体的相位信息分布;
S2.对两幅干涉图滤出直流分量:
在滤出直流分量后,方程(1)化简为:
S3.对两幅干涉图构建菱形矢量:
将I1和I2分别相加、相减,构建一个菱形矢量,如公式(3)
其中,S表示两幅干涉图的光强之和,D表示两幅干涉图的光强之差;
S4.归一化菱形矢量:
对公式(3)进行归一化,得到:
其中,S*表示归一化两幅干涉图的光强之和,D*表示归一化两幅干涉图的光强之差;
S5.求解相位信息:
其中,φ表示被测物体的相位分布,Δ是一个与像素点无关的常数;
公式(4)中如果干涉条纹数小于或等于1,则S*与D*的振幅不能近似相等,因此S*的振幅不等于D*的振幅,bk≠bk',其中,此时相位分布的计算公式为:其中利用椭圆拟合来求解r,从而获得被测物体的相位分布;因为公式(8)可以写成
椭圆的一般表达式为
a*x2+b*x*y+c*y2+d*x+f*y+g=0 (10)
将公式(9)化简得到与公式(10)类似的表达式,令D*=x,S*=y,得到一般椭圆公式的参数为通过椭圆拟合就计算出参数bk和bk',从而求解出r,
2.根据权利要求1所述基于菱形矢量归一化的快速相位提取方法,其特征在于,所述S4还包括:
S41.公式(4)中如果满足干涉条纹数大于1这一条件,则有以下的近似:
此时S*与D*的振幅近似相等,从而得到
其中,
3.根据权利要求1所述基于菱形矢量归一化的快速相位提取方法,其特征在于,所述步骤S1中,两幅干涉图的采集为:
光源采用经过准直后平行光源,用单轴平晶将一束光分为有一定剪切量同方向的两束光,利用1/4波片以及检偏器进行随机移相,利用相机采集两幅移相干涉图。
4.根据权利要求1所述基于菱形矢量归一化的快速相位提取方法,其特征在于,还包括以下步骤:
S6.相位提取在干涉条纹数大于1的情况下,对相位分布进行相位解包裹。
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