[发明专利]Si-P膜层材料的制备方法有效
申请号: | 201911354017.6 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN111118565B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 周琼宇;李媛媛;王小芬 | 申请(专利权)人: | 佛山科学技术学院 |
主分类号: | C25D9/04 | 分类号: | C25D9/04;C25D5/24;C25D5/18;H01M4/38;H01M10/0525 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 朱继超 |
地址: | 528000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | si 材料 制备 方法 | ||
1.一种Si-P膜层材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将乙腈与四乙基氯化铵混合制成基础电解液,加入硅源和磷源后进行电沉积,从金属Ni基底电极表面即可获得所述Si-P膜层材料,其中,所述磷源选自三氯化磷、氯化磷、三溴化磷或五溴化磷;所述三氯化磷的浓度为2.5~5mol/L;所述氯化磷的浓度为2~10mol/L;所述三溴化磷的浓度为1~6mol/L;所述五溴化磷的浓度为0.5~10mol/L;所述电沉积为脉冲电沉积,其电流密度范围为0.05~35A/dm2,脉冲频率为500~12000Hz,占空比15~85%。
2.根据权利要求1所述的Si-P膜层材料的制备方法,其特征在于,所述硅源选自三氯氢硅、四氯化硅、三溴氢硅或四溴化硅。
3.根据权利要求2所述的Si-P膜层材料的制备方法,其特征在于,所述三氯氢硅的浓度为2.5~8mol/L;所述四氯化硅的浓度为0.5~5mol/L;所述三溴氢硅的浓度为2~5mol/L;所述四溴化硅的浓度为1~10mol/L。
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