[发明专利]一种日盲区高分辨率低色散光栅光谱仪有效

专利信息
申请号: 201911352705.9 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN111089650B 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 董云升;张天舒;刘文清;刘建国;史宇辰;付毅宾;范广强;项衍;吕立慧;刘吉瑞 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院;安徽大学
主分类号: G01J3/12 分类号: G01J3/12;G01J3/18;G01J3/42
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 杨学明;顾炜
地址: 230031 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 盲区 高分辨率 色散 光栅 光谱仪
【权利要求书】:

1.一种日盲区高分辨率低色散光栅光谱仪,其特征在于,包括:入射光阑(1)、耦合准直镜(2)、耦合准直镜座(3)、凹面准直镜(4)、凹面准直镜座(5)、紫外光栅(6)、光栅座(7)、聚焦镜一(8)、镜座一(9)、聚焦镜二(10)、镜座二(11)、聚焦镜三(12)、镜座三(13)、出射光阑一(14)、探测器一(15)、出射光阑二(16)、探测器二(17)、出射光阑三(18)、探测器三(19)、光谱仪壁(20)和光谱仪底板(21);所述入射光阑(1)相对位置固定,光阑孔径0.2mm-2mm之间自动调整;所述耦合准直镜(2)与凹面准直镜(4)组成一对扩束镜组,信号光由入射光阑(1)进入光谱仪,经过耦合准直镜(2)与凹面准直镜(4)扩束为发散角小于0.1mrad的准平行光,入射到紫外光栅(6);所述紫外光栅(6)为深紫外光栅,工作波长为260nm-300nm,紫外光栅(6)将不同波长的信号光以不同的角度衍射出去;所述的聚焦镜一(8)、聚焦镜二(10)和聚焦镜三(12)分别接收由紫外光栅(6)反射回来的不同波长信号光,分别将它们会聚到出射光阑一(14)、出射光阑二(16)和出射光阑三(18),分别被探测器一(15),探测器二(17)和探测器三(19)接收;光谱仪满足高低温环境和车载机载振动条件下高分辨率低色散稳定工作,工作温度范围-30℃至70℃;

所述耦合准直镜(2)、聚焦镜一(8)、聚焦镜二(10)和聚焦镜三(12)分别固定安装在耦合准直镜座(3)、镜座一(9)、镜座二(11)和镜座三(13)上,耦合准直镜座(3)、镜座一(9)、镜座二(11)和镜座三(13)采用高阻尼合金材料设计,可以-70℃至120℃范围内,有效抑制微振动,阻尼本领大于90%,减振衰减大于90%;

所述光谱仪底板(21)超低膨胀系数的合金材料,在-70℃至100℃范围内,平均膨胀系数小于1.5×10-6-1,光谱仪的膨胀量小于0.1um/℃;

所述光谱仪底板(21)和光谱仪壁(20)的内墙壁均采用吸光螺纹和多孔设计,吸收杂散光;

所述出射光阑一(14)、出射光阑二(16)和出射光阑三(18)为矩形狭缝光阑设计,狭缝边缘为刀口设计,矩形的长度和宽度均可调整,调整范围为0.2-10mm,调整精度为0.01mm;

光谱仪工作250nm-300nm的日盲区和近日盲区波段,光谱分辨率小于0.1nm,光学效率大于50%。

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