[发明专利]一种等离子光刻胶装置

权利要求书

1.一种等离子光刻胶装置，其特征在于：包括外壳体(1)、通水电极管路(2)、通水极板组(3)、绝缘的物料托架(4)以及真空腔体(5)，真空腔体(5)设置于外壳体(1)内，且真空腔体(5)后部连接有集成式通水电极管路(2)及通水套件(6)，通水电极管路(2)通过连接电缆与射频电源连接，通水极板组设置于真空腔体(5)内；

所述真空腔体(5)的后部和下部设有抽空管道(7)，所述抽空管道(7)连接真空泵；

所述通水极板组在真空腔体(5)内部均匀分布间隔设置的7层正极板(11)和6层负极板(12)，共有6层处理区，每层处理区设置正极板(11)在上部，负极板(12)在下部，正极板(11)和负极板(12)之间设置物料托架(4)，每块正极板(11)和负极板(12)内部分布由若干通水管路(8)，通水管路(8)的进水口和出水口上设置通水套件(6)，通过通水套件(6)与通水电极管路(2)连接。

2.根据权利要求1所述的一种等离子光刻胶装置，其特征在于：所述通水管路(8)的进水口和出水口分别设有与之连通的竖直设置的通水电极管路(2)，通水电极管路(2)的下端为进水端，上端为出水端。

3.根据权利要求1所述的一种等离子光刻胶装置，其特征在于：所述物料托架(4)可拆迁固定在负极板(12)上，负极板(12)两侧上有导轨(13)，所述物料托架(4)的两端设有固定式滚轴(14)，通过固定式滚轴(14)滑动嵌入导轨(13)固定物料托架(4)。

4.根据权利要求1所述的一种等离子光刻胶装置，其特征在于：所述物料托架(4)的中间设有两个晶圆放置区(9)，晶圆放置区(9)的圆周边上设有可调整移动的台阶陶瓷物料支撑块(15)，且每个陶瓷物料支撑块(15)之间还设置一个取料位(16)方便取料。

5.根据权利要求4所述的一种等离子光刻胶装置，其特征在于：所述物料托架(4)的表面设有若干通气孔(17)。