[发明专利]一种具有微纳米核壳结构的互连材料制备方法

权利要求书

1.一种具有微纳米核壳结构的互连材料制备方法，其特征在于：包括以下制备步骤：

i.微纳米铜颗粒与保护剂、溶剂混合，制得微纳米铜分散液；

ii.将溶剂、络合剂、壳层金属前驱体混合均匀进行反应，得到预制液；

iii.将所述微纳米铜分散液与所述预制液混合进行反应，经过滤、洗涤、烘干制得核壳结构微纳米颗粒；

iiii.将所述核壳结构微纳米颗粒与连接剂、溶剂、触变剂混合均匀，经研磨、振荡、超声、浓缩，得到具有微纳米核壳结构的互连材料；所述互连材料中微纳米铜核尺寸为50nm～500μm，纳米金属壳尺寸为1～50nm。

2.如权利要求1所述的互连材料制备方法，其特征在于：所述步骤i中的微纳米铜颗粒尺寸均一，尺寸大小为50nm～500μm。

3.如权利要求1所述的互连材料制备方法，其特征在于：所述步骤i中的微纳米铜颗粒至少具有第一尺寸和第二尺寸，其中第一尺寸为50nm～1μm，第二尺寸为1μm～500μm。

4.如权利要求1所述的互连材料制备方法，其特征在于：所述步骤i中的保护剂为柠檬酸钠、十六烷基溴化铵、聚乙烯基吡咯烷酮、聚乙二醇、三乙醇胺、油酸、聚丙烯酰胺中的一种；溶剂为水、乙醇、异丙醇、丙三醇、乙二醇、一缩二乙二醇、丙二醇、甲醇中的一种。

5.如权利要求1所述的互连材料制备方法，其特征在于：所述步骤ii中的络合剂为硫脲，所述壳层金属前驱体为草酸亚锡、乙二酸亚锡、氯化亚锡、硫酸亚锡中的一种。

6.如权利要求1所述的互连材料制备方法，其特征在于：所述步骤iii在变温条件下进行，变温范围为20℃～90℃，反应时间为30min～24h。

7.如权利要求1所述的互连材料制备方法，其特征在于：所述步骤iiii中的连接剂包括环氧树脂、纤维素衍生物、酚醛树脂、丁醛树脂、阿拉伯树胶，所述溶剂包括乙醇、丙酮、乙二醇、二乙二醇、一缩二乙二醇、二缩二乙二醇、丙三醇、异丙醇、松油醇、丁基卡必醇乙酸酯；所述触变剂包括聚酰胺蜡和氢化蓖麻油。

8.如权利要求1所述的互连材料制备方法，其特征在于：所述研磨方式包括湿研、干研和半干研；所述浓缩方式包括常压蒸发和减压蒸发。