[发明专利]一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置

权利要求书

1.一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：包括真空腔体、真空抽气装置、电子产生发射装置、样品固定装置、光子收集和传输装置和高分辨率光栅光谱分析仪器；

所述电子产生发射装置的一端插入所述真空腔体内；

所述真空抽气装置连接所述真空腔体；

所述样品固定装置的一端在所述真空腔体内；所述高分辨率光栅光谱分析仪器设置在所述光子收集和传输装置上。

2.根据权利要求1所述的一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：所述光子收集和传输装置为椭圆状；所述光子收集和传输装置的内表面是经过抛光处理的。

3.根据权利要求2所述的一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：所述光子收集和传输装置的材料选自金、银和铜的一种。

4.根据权利要求3所述的一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：所述光子收集和传输装置的长轴为200-700mm，短轴长度为4-20mm。

5.根据权利要求1所述的一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：还包括长度调节装置和角度调节装置；所述长度调节装置和角度调节装置位于所述高分辨率光栅光谱分析仪器和所述光子收集和传输装置的连接处；所述角度调节装置的一端固定在所述光子收集和传输装置上，所述角度调节装置的另一端固定在所述长度调节装置的一端上；所述长度调节装置的另一端固定在所述真空腔体上。

6.根据权利要求1至权利要求5任一所述的一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：所述高分辨率光栅光谱分析仪器替换为深紫外窄带滤波片和光子能量探测器；所述深紫外窄带滤波片和光子能量探测器相连。

7.根据权利要求6所述的一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：所述深紫外窄带滤波片包括上反射膜系和下反射膜系；

所述下反射膜系包括基底、下一类膜层和下二类膜层；所述下一类膜层和所述下二类膜层交替镀在所述基底上方；所述下一类膜层和所述下二类膜层的数量共计为20-25层；

所述上反射膜系包括谐振腔层、上一类膜层和上二类膜层；所述上一类膜层和膜层交替镀在所述谐振腔层上方；所述膜层和所述上一类膜层的数量共计为20-25层；

所述上一类膜层与所述下一类膜层的厚度为所需的波长除以所述上一类膜层与所述下一类膜层的材料在所述波长下的折射率所得到的商的四分之一；

所述上二类膜层与所述下二类膜层的厚度为所需的波长除以所述上一类膜层与所述下一类膜层的材料该在所述波长下的折射率所得到的商的四分之一。

8.根据权利要求7所述的一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：所述基底与所述谐振腔层的材料为氟化镁。

9.根据权利要求8所述的一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：所述上一类膜层与所述下一类膜层为氟化镁；所述上二类膜层与所述下二类膜层为氟化钙。

10.根据权利要求9所述的一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：所述光子能量探测器的结构选自包括盖革-弥勒计数管和光电倍增管的一种。