[发明专利]一种氦气保护气体净化装置及方法

权利要求书

1.一种氦气保护气体净化装置，其特征在于：包括水汽去除容器(1)、杂质气体去除容器(2)，其中水汽去除容器(1)右端连接He气体入口(3)，水汽去除容器(1)左端通过连接管道(4)连接杂质气体去除容器(2)的左端，而杂质气体去除容器(2)的右端安装He气体出口(5)，He气体出口(5)上安装有截止阀，杂质气体去除容器(2)下端安装有加热器(6)，He气体出口(5)接入试验系统；

水汽去除容器(1)内部安装有金属筛板(7)，金属筛板(7)的右侧充入弱吸水剂，金属筛板(7)的左侧充入强吸水剂。

2.根据权利要求1所述的一种氦气保护气体净化装置，其特征在于：所述杂质气体去除容器(2)内有Ca颗粒。

3.一种应用如权利要求1所述的氦气保护气体净化装置的方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：从He气体入口(3)通入氦气，将水汽去除容器(1)、连接管道(4)和杂质气体去除容器(2)中的其它气体排出；

S2：打开加热器(6)，将杂质气体去除容器(2)中的工作介质升温至450～500℃，此过程不中断S1的氦气流；

S3：将He气体出口(5)接入试验系统，但不打开He气体出口(5)上的截止阀；

S4：对试验系统抽真空后，打开He气体出口(5)上的截止阀，将氦气将充入试验系统；

S5：当试验系统达到一定压力后，关闭He气体出口(5)上的截止阀；

S6：重复S4至S5。

4.根据权利3所述的一种氦气保护气体净化方法，其特征在于：所述S1 中，从He气体入口(3)以低流量通5分钟氦气。

5.根据权利3所述的一种氦气保护气体净化方法，其特征在于：所述S5中，当试验系统达到一个大气压后，关闭He气体出口(5)上的截止阀。

6.根据权利3所述的一种氦气保护气体净化方法，其特征在于：所述S5中，重复S4至S5三次。

7.根据权利3所述的一种氦气保护气体净化方法，其特征在于：还包括，S7：关闭加热器(6)，脱开He气体出口(5)与试验系统。