[发明专利]一种可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶

权利要求书

1.一种可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：包括旋转支架(1)、旋转套(3)、支撑轴(6)、真空旋转手臂(4)和多个复合阳极靶(5)；

所述复合阳极靶(5)包括钽片(51)和铝衬底(52)，所述钽片(51)和铝衬底(52)叠加设置；所述钽片(51)中心区域的端面设置有通孔，所述通孔内设置有第一石墨层(53)，所述第一石墨层(53)由多层高纯石墨片叠加而成；所述铝衬底(52)的端面设置有安装槽，所述安装槽与通孔同轴设置且连通，所述安装槽内设置有第二石墨层(54)，所述第二石墨层(54)由多层高纯石墨片叠加而成；

所述旋转支架(1)上设置有多个阳极靶安装法兰(2)，所述复合阳极靶(5)设置在阳极靶安装法兰(2)上；

所述真空旋转手臂(4)与旋转套(3)连接，将外部动力传递给旋转套(3)，所述旋转套(3)设置旋转支架(1)的中心，带动旋转支架(1)旋转，所述支撑轴(6)通过轴承(7)套装在旋转套(3)内，用于支撑旋转支架(1)。

2.根据权利要求1所述的可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：所述钽片(51)中钽的纯度＞99.99％，所述高纯石墨片选用密度＞1.82g/cm³的石墨，所述铝衬底(52)采用1系铝。

3.根据权利要求2所述的可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：所述钽片(51)和铝衬底(52)上设置有螺钉通孔(55)，所述钽片(51)和铝衬底(52)通过螺钉连接。

4.根据权利要求1或2或3所述的可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：所述旋转支架(1)上设置有四个阳极靶安装法兰(2)，四个阳极靶安装法兰(2)沿旋转支架(1)的中心周向均布。

5.根据权利要求4所述的可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：所述真空旋转手臂(4)与电机的输出轴连接，所述电机带动真空旋转手臂(4)转动。

6.根据权利要求5所述的可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：所述旋转套(3)与旋转支架(1)过盈配合实现连接。

7.根据权利要求6所述的可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：所述旋转套(3)与旋转支架(1)通过键连接。

8.根据权利要求7所述的可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：所述旋转支架(1)为圆形铝板。

9.根据权利要求8所述的可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：所述钽片(51)和铝衬底(52)的形状和尺寸相同，形状为圆形或矩形，所述通孔和安装槽的形状和尺寸相同，形状为圆形或矩形。

10.根据权利要求9所述的可旋转耐烧蚀强流二极管阳极靶，其特征在于：所述第一石墨层(53)通过过盈配合的方式安装在通孔内，所述第二石墨层(54)通过过盈配合的方式安装在安装槽内。