[发明专利]旋转光路光束装置及旋转光路光束系统

权利要求书

1.一种旋转光路光束装置，其特征在于，包括：沿光轴依次分布的波片旋转机构、二维扫描机构、第一调节镜组、第二调节镜组、反射镜和聚焦镜组；

所述波片旋转机构用于将入射的激光光束通过高速旋转形成各个方向一致的偏振态，保持所述激光光束的偏振态为径向分布；

所述二维扫描机构用于对所述激光光束的X-Y平面进行扫描，形成加工所需的绕所述光轴旋转的环；

所述第一调节镜组、所述第二调节镜组、所述反射镜和所述聚焦镜组用于控制所述环的大小和光束的角度；其中，所述聚焦镜组包括至少三个镜片；

所述旋转光路光束装置还包括：穿孔检测单元，用于实时检测孔是否打通；位置检测单元，用于实时检测所述激光光束的位置。

2.根据权利要求1所述的旋转光路光束装置，其特征在于，所述波片旋转机构包括波片和旋转电机；其中，所述旋转电机控制所述波片以所述光轴为旋转轴高速旋转。

3.根据权利要求1所述的旋转光路光束装置，其特征在于，所述第一调节镜组和所述第二调节镜组的位置是不固定的。

4.根据权利要求1所述的旋转光路光束装置，其特征在于，所述第一调节镜组包括至少两个聚焦组件，每个所述聚焦组件包括至少一片聚焦镜片，所述聚焦组件之间的间距是不固定的；

所述第二调节镜组包括至少两个聚焦组件，每个所述聚焦组件包括至少一片聚焦镜片，所述聚焦组件之间的间距是不固定的；

所述第一调节镜组的所述聚焦组件和所述第二调节镜组的所述聚焦组件同时移动，用于调节所述环的大小。

5.根据权利要求1所述的旋转光路光束装置，其特征在于，所述第一调节镜组和所述第二调节镜组的焦距比例范围为0.5-2。

6.根据权利要求1所述的旋转光路光束装置，其特征在于，所述反射镜还用于将所述光轴旋转90°。

7.根据权利要求1所述的旋转光路光束装置，其特征在于，所述聚焦镜组用于调节所述激光光束的角度。

8.一种旋转光路光束系统，其特征在于，所述系统包括权利要求1至7任一项所述的旋转光路光束装置，还包括激光器和远程终端，所述远程终端包括协同控制卡；

所述远程终端用于向所述协同控制卡发送信号；

所述协同控制卡用于将接收到的所述信号发送至所述激光器和所述旋转光路光束装置的波片旋转机构和二维扫描机构，并接收所述激光器、所述波片旋转机构和所述二维扫描机构发送的反馈信号，以使激光加工路径与偏振态的径向保持同步。