[发明专利]真空阀门

说明书

一种真空阀门其结构简单，其中转轴和阀板沿阀板的长度方向通过连杆连接，借此阀板可跟随转轴进行转动，连杆和阀板的连接侧在位于近阀口侧和远阀口侧之间的连接位置浮动连接，浮动连接容许阀板与连杆之间有轻微的活动；连杆和阀板之间还设置有弹性件，弹性件施加弹性力于阀板上，以迫使阀板活动到轻微的活动的范围的一个极限位置；极限位置使得阀板跟随转轴朝阀口进行转动的路径中，阀板的远阀口侧比近阀口侧要先接触到侧壁，进而随后使得近阀口侧为固定部，并且导致继续转动的连杆相对阀板进行轻微的活动，借此推摆阀板，以使阀板的密封侧密封阀口。

技术领域

本发明涉及真空阀门。

背景技术

随着国民经济飞速发展，各行各业对真空技术的应用日益广泛，也提 出了新的更高更全面的要求。现在大多数镀膜设备上用的都是长方形插板 阀，这种型式的阀门最主要的问题是造价高、工作寿命短、单动作时间长。 有部分客户在系统上使用长方形翻板阀的不但造价高而且还周期长， CN102117734A公开了此类翻板阀。

当前为了降低成本、提高自身的竞争力是行业内的一项重要课题。期 望一种不但结构简单、真空度高，而且单动作时间短的长方形翻板阀，以 充分满足镀膜系统对隔断阀的使用要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空阀门，其结构简单。

一种真空阀门包括阀芯组件和阀体，所述阀体包括侧壁，所述侧壁提供有 阀口，所述阀芯组件包括阀板；其中

所述阀芯组件还包括转轴，所述转轴在所述阀体中设置可绕自身轴线转 动；

所述阀板具有宽度方向、长度方向和厚度方向，在所述厚度方向具有连接 侧和密封侧；在所述宽度方向具有邻近阀口的近阀口侧和远离阀口的远阀口 侧；

所述转轴和所述阀板沿所述阀板的长度方向通过连杆连接，借此所述阀板 可跟随所述转轴进行转动，所述连杆和所述阀板的所述连接侧在位于所述近阀 口侧和所述远阀口侧之间的连接位置浮动连接，所述浮动连接容许所述阀板与 所述连杆之间有轻微的活动；

所述连杆和所述阀板之间还设置有弹性件，所述弹性件施加弹性力于所述 阀板上，以迫使所述阀板活动到所述轻微的活动的范围的一个极限位置；

所述极限位置使得所述阀板跟随所述转轴朝所述阀口进行转动的路径中， 所述阀板的所述远阀口侧比所述近阀口侧要先接触到所述侧壁，进而随后使得 所述近阀口侧为固定部，并且导致继续转动的所述连杆相对所述阀板进行所述 轻微的活动，借此推摆所述阀板，以使所述阀板的所述密封侧密封所述阀口。

在所述的真空阀门的一个或多个实施方式中，所述阀体为空心腔体，在一 侧为开放侧，所述阀芯组件还包括盖板，在所述盖板面向所述阀体内的一侧突 出设置转轴支架，所述转轴由所述转轴支架可转动支撑，所述盖板可拆卸地封 住所述开放侧，借此所述盖板设置成所述阀芯组件的支撑基础。

在所述的真空阀门的一个或多个实施方式中，所述阀芯组件还包括驱动装 置，所述驱动装置设置在所述盖板背向所述阀体内的一侧，所述驱动装置具有 直线运动输出件，所述直线运动输出件穿过所述盖板，并通过曲柄连接所述转 轴，从而可驱动所述转轴进行转动；所述盖板和所述直线运动输出件之间设置 有密封件。

在所述的真空阀门的一个或多个实施方式中，所述密封件为波纹管，所述 波纹管的一端安装在所述盖板上，与所述盖板之间形成密封，所述直线运动输 出件穿出所述波纹管，与所述波纹管之间形成密封。

在所述的真空阀门的一个或多个实施方式中，对应所述转轴的两端，所述 盖板上设置有撑板，所述撑板插入到所述阀体中，所述撑板的两端和所述阀体 的壁体之间小公差间隙配合，从所述阀体的壁体的内侧对所述壁体提供支撑。

在所述的真空阀门的一个或多个实施方式中，所述撑板为所述转轴支架。