[发明专利]基于超薄银膜阳极的柔性有机光电倍增探测器及制作方法在审
申请号: | 201911334247.6 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN111129311A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 石林林;张叶;崔艳霞;王文艳;冀婷;李国辉;梁强兵;郝玉英;吴玉程 | 申请(专利权)人: | 太原理工大学 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/44;H01L51/48 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
地址: | 030024 山西*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 超薄 阳极 柔性 有机 光电 倍增 探测器 制作方法 | ||
1.一种基于超薄银膜阳极的柔性有机光电倍增探测器,包括阳极层、阳极修饰层、活性层、阴极层,其特征在于:阳极层是厚度为1 ± 0.2纳米的三氧化钼MoO3和9 ± 0.2纳米的超薄银膜组成的金属透明电极,阳极修饰层是厚度为4 ± 0.2纳米的三氧化钼MoO3,活性层是厚度为214 ± 0.2纳米的聚3 -己基噻吩: 苯基-C70-丁酸甲酯P3HT:PC70BM,阴极层是厚度为100 ± 0.2纳米的铝,阳极层使用的衬底为用交联烯烃聚合物ZEOCOAT处理过的厚度为0.1-0.15mm的聚对苯二甲酸乙二醇酯PET。
2.制作权利要求1所述的一种基于超薄银膜阳极的柔性有机光电倍增探测器的方法,其特征在于按照如下的步骤进行:
步骤一、活性层溶液配制,分别将40单位毫克P3HT、PC70BM分别溶解于1单位毫升邻二氯苯DCB并在60℃下搅拌均匀后,取配置好的PC70BM溶液与配置好的P3HT溶液按照体积百分比1:100混合后在60℃下搅拌均匀,获得质量比P3HT:PC70BM为100:1的活性层溶液;
步骤二、把聚对苯二甲酸乙二醇酯PET揭掉保护膜后用交联烯烃聚合物ZEOCOAT对其表面进行改善粗糙度处理作为衬底,在聚对苯二甲酸乙二醇酯PET衬底上依次热蒸镀厚度为1± 0.2纳米的MoO3、厚度为9 ± 0.2纳米的超薄银膜组成透明电极作为阳极层,热蒸镀厚度4 ± 0.2纳米的MoO3作为阳极修饰层,在阳极修饰层上旋涂活性层溶液,形成厚度为214± 0.2纳米的P3HT:PC70BM层作为活性层,在活性层上热蒸镀厚度为100 ± 0.2纳米的铝作为阴极层。
3.根据权利要求2所述的制作一种基于超薄银膜阳极的柔性有机光电倍增探测器的方法,其特征在于:阳极层的制备工艺为真空热沉积,其中厚度为1 ± 0.2纳米的MoO3薄膜采用束源炉加热,生长速率维持在0.01 - 0.02 nm/s,9 ± 0.2纳米的超薄银膜采用钽舟加热,生长速率维持在0.7 nm/s。
4.根据权利要求2所述的制作一种基于超薄银膜阳极的柔性有机光电倍增探测器的方法,其特征在于:步骤二中,阳极缓冲层制备工艺为真空热沉积,厚度为4 ± 0.2纳米的MoO3薄膜采用束源炉加热,生长速率维持在0.01 - 0.02 nm/s,然后静置至少5 min,再在MoO3层上旋涂活性层溶液。
5.根据权利要求2所述的制作权利要求1所述的一种基于超薄银膜阳极的柔性有机光电倍增探测器的方法,其特征在于:在阳极修饰层上以转速1200 rpm旋涂活性层溶液,旋涂完成后直接置于加热台上,在80℃下退火20 s,之后手套箱中静置3 min以上,随后在活性层上蒸镀阴极层铝。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择