[发明专利]照明光学系统、曝光装置以及产品的制造方法

权利要求书

1.一种照明光学系统，使用来自光源的光对被照明面进行照明，所述照明光学系统的特征在于，包括：

生成部，使来自所述光源的光衍射，将多个种类的光强度分布中选择出的光强度分布生成于光瞳面；

光学积分器，配置于所述生成部与所述被照明面之间的光路上；以及

光透射部件，配置于所述生成部与所述光学积分器之间的光路上，

所述多个种类的光强度分布包括所述光瞳面处的分布形状相互不同的第1光强度分布以及第2光强度分布，

所述光透射部件包括在所述第1光强度分布的生成时和所述第2光强度分布的生成时光共同地透射的第1区域和所述第1区域以外的第2区域，

所述第1区域包括光的发散程度比所述第2区域高的发散部。

2.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述第2区域构成为使光不发散地透射。

3.根据权利要求2所述的照明光学系统，其特征在于，

所述第2区域具有平面形状。

4.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述生成部构成为包括多个衍射光学元件，能够通过切换在光路上配置的衍射光学元件来变更所述光瞳面处的光强度分布。

5.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述光透射部件以使所述发散部的尺寸相互不同的方式设置有多个，根据选择出的光强度分布的种类进行切换。

6.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述发散部具有光能够透射所述光透射部件的最大面积的11％以下的面积。

7.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述发散部具有光的发散程度相互不同的多个部分。

8.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述发散部具有圆形形状。

9.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述发散部具有矩形形状。

10.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述第1光强度分布的所述光瞳面处的面积以及所述第2光强度分布的所述光瞳面处的面积相互不同。

11.根据权利要求10所述的照明光学系统，其特征在于，

所述第1光强度分布的所述光瞳面处的面积小于所述第2光强度分布的所述光瞳面处的面积，

基于所述第1光强度分布的照明包括小σ照明以及多极照明中的至少1个，

基于所述第2光强度分布的照明包括大σ照明。

12.一种曝光装置，对基板进行曝光，所述曝光装置的特征在于，包括：

照明光学系统，使用来自光源的光对原版进行照明；以及

投影光学系统，将所述原版的图案投影到基板上，

所述照明光学系统包括：

生成部，使来自所述光源的光衍射，将多个种类的光强度分布中选择出的光强度分布生成于光瞳面；

光学积分器，配置于所述生成部与配置有所述原版的被照明面之间的光路上；以及

光透射部件，配置于所述生成部与所述光学积分器之间的光路上，

所述多个种类的光强度分布包括所述光瞳面处的分布形状相互不同的第1光强度分布以及第2光强度分布，

所述光透射部件包括在所述第1光强度分布的生成时和所述第2光强度分布的生成时光共同地透射的第1区域和所述第1区域以外的第2区域，

所述第1区域包括光的发散程度比所述第2区域高的发散部。

13.一种产品的制造方法，其特征在于，包括：

曝光工序，使用曝光装置对基板进行曝光；

加工工序，对在所述曝光工序中曝光后的所述基板进行加工；以及

制造工序，从在所述加工工序中加工出的所述基板制造产品，

所述曝光装置包括：

照明光学系统，使用来自光源的光对原版进行照明；以及

投影光学系统，将所述原版的图案投影到基板上，

所述照明光学系统包括：

生成部，使来自所述光源的光衍射，将多个种类的光强度分布中选择出的光强度分布生成于光瞳面；

光学积分器，配置于所述生成部与配置有所述原版的被照明面之间的光路上；以及

光透射部件，配置于所述生成部与所述光学积分器之间的光路上，

所述多个种类的光强度分布包括所述光瞳面处的分布形状相互不同的第1光强度分布以及第2光强度分布，

所述光透射部件包括在所述第1光强度分布的生成时和所述第2光强度分布的生成时光共同地透射的第1区域和所述第1区域以外的第2区域，

所述第1区域包括光的发散程度比所述第2区域高的发散部。