[发明专利]一种光束偏转精瞄驱动构件微镜有效
| 申请号： | 201911329204.9 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110967824B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 安坤;孟江;何建龙;杨良兴;刘玠;王亚峰 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 高博 |
| 地址： | 030051 山西省*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光束 偏转 驱动 构件 | ||
【权利要求书】：
1.一种光束偏转精瞄驱动构件微镜，其特征在于，包括内部镂空的外围基座(1)，外围基座(1)的四个角刻蚀出Pt层作为下电极(6)，外围基座中心设有四悬梁结构(2)，四悬梁结构(2)与外围基座(1)中心基底正上方设置有微镜(3)，四悬梁结构(2)和微镜(3)采用硅基PLZT薄膜(4)刻蚀而成，微镜(3)的方框内溅射沉积有金属层(9)，金属层(9)采用Au溅射沉积制成，金属层(9)的厚度为300～500nm，四悬梁结构(2)上设置有上电极(5)，上电极(5)包括两个，分别设置在相邻的两个悬臂梁上，上电极(5)上设置有上电极压焊点(7)。
2.根据权利要求1所述的光束偏转精瞄驱动构件微镜，其特征在于，硅基PLZT薄膜(4)的厚度为1.5～2μm。
3.根据权利要求1所述的光束偏转精瞄驱动构件微镜，其特征在于，上电极(5)采用Au溅射沉积制成，上电极(5)的厚度为300～500nm。
4.根据权利要求1所述的光束偏转精瞄驱动构件微镜，其特征在于，下电极(6)上设置有下电极压焊点(8)。
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