[发明专利]一种等离子体束流密度分布的测量方法

权利要求书

1.一种等离子体束流密度分布的测量方法，其特征在于，采用的装置包括偏压极板(1)、若干法拉第筒(3)和下层底板(6)；

偏压极板(1)开设有多个采集孔(7)，所述偏压极板的边缘端部位置开设有导线连接孔(11)，所述偏压极板经偏压电路(10)接地，使偏压极板带负电；偏压极板的正下方为多个平行排布的法拉第筒(3)，法拉第筒的轴线垂直偏压极板(1)的板面，所述偏压极板与法拉第筒的上端口接触面处设有绝缘涂层(2)，在每个法拉第筒的轴线对应一个采集孔(7)，采集孔(7)的直径小于法拉第筒的内直径；所述法拉第筒内壁表面有一层导电薄膜(9)，但导电薄膜(9)不与偏压极板接触，与偏压极板(1)之间留有缝隙，所述法拉第筒下端面有导电材料(5)封口，导电薄膜(9)伸出法拉第筒下端面并与导电材料(5)连接接触，导电薄膜(9)引出电路，每个法拉第筒下端及对应的导电材料(5)均固定于下层底板(6)的凹槽内；在下层底板(6)的上部设有上层底板(4)，所述上层底板在对应的法拉第筒的位置均设有固定孔(12)，使得法拉第筒的穿过用于固定法拉第筒；

偏压极板(1)采用导电材料，法拉第筒以绝缘材料为主体，下层底板采用绝缘材料；

所述的偏压电路(10)为偏压极板(1)的导线连接孔(11)引出电路接地，法拉第筒下端面的导电薄膜(9)引出电路经由电流表接地，或接电源的同一电极，即同电位；

测试方法：通过偏压电路(10)中电流表测得的电流信号I，由电子束通量计算公式计算可得电子束通量，即束流密度，其中Flux：电子束通量，ion/m²s；I：测得的电流强度，C/s；n：每个离子的电荷数，定值，可以查询资料；A：注入面积即法拉第筒内部空腔对应的底面面积，m²；

所述法拉第筒阵列布局在测量等离子体束流密度分布基础之上，进一步测量等离子体束流的横截面形状，根据每个法拉第筒为一个单元，所有单元测得的密度排布可以形成等离子体束流的横截面形状。