[发明专利]一种LTCC基板钎焊方法在审
申请号: | 201911321623.8 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN110961741A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 王松;陈萍;霍锐;贺颖;刘骁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电子学研究所 |
主分类号: | B23K1/008 | 分类号: | B23K1/008 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 方丁一 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ltcc 钎焊 方法 | ||
1.一种LTCC基板钎焊方法,所述LTCC基板包括腔体(101),其特征在于,所述方法包括:
在LTCC基板(1)的待焊接面上进行预焊接,所述预焊接包括通过回流焊接的方式将第一焊片(2)焊接在与所述腔体(101)位置对应的待焊接面上;
将已完成预焊接的LTCC基板(1)、第二焊片(3)和壳体(4)进行钎焊。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一焊片(2)和所述第二焊片(3)的材料为Sn63Pb37、Sn62Pb36Ag2或Sn96.5Ag3Cu0.5。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一焊片(2)的面积为所述腔体的面积的80~90%。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一焊片(2)的厚度与所述腔体的面积成正比。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述第一焊片(2)的厚度根据下列公式确定:
Tc=25μm(10mm2≤Sq≤20mm2)
Tc=50μm(20mm2≤Sq≤40mm2)
Tc=75μm(40mm2≤Sq≤80mm2)
其中,Tc为第一焊片(2)的厚度,Sq为腔体(101)的面积。
6.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一焊片(2)的材料为Sn63Pb37或Sn62Pb36Ag2时,所述预焊接包括:
采用回流焊炉进行预焊接,所述预焊接的升温速率为3~5℃/s,预热温度为140~160℃,预热保温时间为1~2min,焊接温度为220~240℃,焊接保温时间为30~60s,降温速率为1~2℃/s。
7.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一焊片(2)的材料为Sn96.5Ag3Cu0.5时,所述预焊接包括:
采用回流焊炉进行预焊接,所述预焊接的升温速率为3~5℃/s,预热温度为150~180℃,预热保温时间为1~2min,焊接温度为240~260℃,焊接保温时间为30~60s,降温速率为1~2℃/s。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第二焊片(3)厚度为50~75μm。
9.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第二焊片(3)的材料为Sn63Pb37或Sn62Pb36Ag2时,所述将已完成预焊接的LTCC基板(1)、第二焊片(3)和壳体(4)进行钎焊包括:
采用真空钎焊炉进行钎焊,焊接压力为0.1~0.3g/mm2,真空度≤50Pa,焊接的升温速率为1~2℃/s,预热温度为140~180℃,预热保温时间为1~2min,焊接温度为220~230℃,焊接保温时间为30~60s,降温速率为1~2℃/s。
10.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第二焊片(3)的材料为Sn96.5Ag3Cu0.5时,所述将已完成预焊接的LTCC基板(1)、第二焊片(3)和壳体(4)进行钎焊包括:
采用真空钎焊炉进行钎焊,焊接压力为0.1~0.3g/mm2,真空度≤50Pa,焊接的升温速率为1~2℃/s,预热温度为150~180℃,预热保温时间为1~2min,焊接温度为240~260℃,焊接保温时间为30~60s,降温速率为1~2℃/s。
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