[发明专利]一种真空阀调节装置及真空调节设备

权利要求书

1.一种真空阀调节装置，用于调节真空阀的输出真空度，其特征在于，所述真空阀调节装置包括：

驱动组件，用于带动所述真空阀的调节旋钮旋转；

控制模块，用于实时获取所述真空阀的输出真空度，将所述输出真空度与预设真空度进行比较，根据比较结果控制所述驱动组件的运行。

2.根据权利要求1所述的真空阀调节装置，其特征在于，当所述输出真空度大于或小于所述预设真空度时，所述控制模块控制所述驱动组件带动所述调节旋钮旋转，以使所述输出真空度等于所述预设真空度。

3.根据权利要求1或2所述的真空阀调节装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

驱动装置，用于提供转动力；

传动轴，其一端与所述驱动装置连接，另一端用于连接所述调节旋钮；所述传动轴用于在所述驱动装置的驱动下带动所述调节旋钮旋转。

4.根据权利要求3所述的真空阀调节装置，其特征在于，所述传动轴远离所述驱动装置的一端连接有连接块；所述连接块远离所述传动轴的一端设有定位槽，所述定位槽用于定位所述调节旋钮。

5.根据权利要求3所述的真空阀调节装置，其特征在于，所述传动轴为螺杆。

6.根据权利要求5所述的真空阀调节装置，其特征在于，所述真空阀调节装置还包括限位组件，所述限位组件包括一活动组件及两组到位组件；

所述活动组件螺接于所述传动轴上；所述活动组件上还连接有导向杆，以使所述活动组件在所述传动轴旋转时沿所述传动轴的轴向移动；

两组所述到位组件间隔设置，所述活动组件在两组所述到位组件之间移动；当所述活动组件移动至任意一个所述到位组件时，所述传动轴停止旋转，以防止所述驱动组件对所述真空阀调节过度。

7.根据权利要求6所述的真空阀调节装置，其特征在于，所述活动组件包括活动板，所述活动板沿所述传动轴的轴向移动；

两组所述到位组件均包括一个限位件，所述活动板移动至任意一个限位件时，所述限位件阻止所述活动板移动，所述活动板反作用于所述传动轴，使所述传动轴停止旋转。

8.根据权利要求6或7所述的真空阀调节装置，其特征在于，所述活动组件包括感应片，所述感应片沿所述传动轴的轴向移动；

两组所述到位组件均包括一个位置传感器，所述感应片移至任意一个所述位置传感器时，所述位置传感器向所述控制模块发送信号，所述控制模块控制所述驱动装置停止工作。

9.根据权利要求6所述的真空阀调节装置，其特征在于，所述活动组件与所述传动轴之间设有转接套；所述转接套与所述传动轴螺纹配合；所述活动组件与所述转接套连接，由所述转接套带动所述活动组件沿所述传动轴的轴向移动。

10.一种真空调节设备，其特征在于，包括真空阀、真空压力表以及权利要求1至9任意一项所述的真空阀调节装置；

所述真空阀调节装置的驱动组件与所述真空阀的调节旋钮连接，所述驱动组件用于带动所述调节旋钮转动，以调节所述真空阀的输出真空度；

所述真空压力表用于检测所述真空阀的真空出口的输出真空度，并将检测的所述输出真空度反馈给所述控制模块，所述控制模块根据所述输出真空度控制所述驱动组件的工作。