[发明专利]一种用于光谱单色器光路调试的工装平台及调试方法在审
申请号: | 201911314042.1 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN111044143A | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 李涛;倪有强;李娟 | 申请(专利权)人: | 上海仪电分析仪器有限公司 |
主分类号: | G01J3/12 | 分类号: | G01J3/12;G01J3/02;G02B27/62 |
代理公司: | 上海九泽律师事务所 31337 | 代理人: | 周云 |
地址: | 200233 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 光谱 单色 器光路 调试 工装 平台 方法 | ||
1.一种用于光谱单色器光路调试的工装平台,其特征在于:
包括平台,所述平台上安装有平行光管、数个光靶、高压汞灯模块、高压电源和显示和控制模块,
所述平行光管用于发射平行光束,各光靶用于配合平行光束来定位光谱仪中各个反射镜在安装板上的位置,
所述显示和控制模块用于设置高压汞灯模块的特征波长并校对和调整光谱仪中的正弦机构。
2.根据权利要求1所述的用于光谱单色器光路调试的工装平台,其特征在于:
所述光靶包括第一光靶、第二光靶、第三光靶和第四光靶,
所述平行光管和第二光靶用于调整光谱仪中第一发射镜在安装板上的角度及位置,
所述第二光靶用于根据定位光谱仪中第一发射镜的反射光路来调整第二发射镜在安装板上的角度及位置,
所述第一光靶、第三光靶和第四光靶用于配合定位光谱仪中第二发射镜的反射光路来调整第三发射镜的角度及位置,第三光靶用于调整第四反光镜在安装板上的角度及位置。
3.根据权利要求1或2所述的用于光谱单色器光路调试的工装平台,其特征在于:
所述平行光管为平行激光器,所有光靶均采用铝合金加工制成。
4.根据权利要求1所述的用于光谱单色器光路调试的工装平台,其特征在于:
所述高压汞灯模块包括安装在底座上的高压汞灯,所述底座的凹面上设有镀银层,高压汞灯模块的电源使用漏磁变压器供电。
5.根据权利要求1所述的用于光谱单色器光路调试的工装平台,其特征在于:
所述显示和控制模块中的显示屏使用7寸TFT电容触摸屏。
6.根据权利要求1所述的用于光谱单色器光路调试的工装平台,其特征在于:
所述光靶的上端设有靶心,光靶底端的中间开设有一个安装孔和两个定位孔,两个定位孔对称分布在安装孔的两侧。
7.一种光谱单色器光路调试方法,采用如权利要求2所述的用于光谱单色器光路调试的工装平台,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:打开平行光管发出平行光束,平行光束入射到第一反射镜上,然后安装调整第一反射镜,使经第一反射镜反射后的平行光束照射到第二光靶的靶心位置;
步骤2:根据反射后的平行光束安装调整第二反射镜,使反射平行光束落到第二反光镜的中心位置;
步骤3:继续调整第二反射镜,使光束经第二反射镜反射到第三反射镜的中心位置;
步骤4:安装调整第三反射镜,使平行光经第三反射镜反射后分成三束光,分别照射到第一光靶、第三光靶和第四光靶的靶心位置;
步骤5:安装调整第四反射镜,使经第三反射镜反射后的中间光束落在第四反射镜的中心位置;
步骤6:继续调整第四反射镜,使光束经第四反射镜发射到样品架的中心位置;
步骤7:放上高压汞灯模块,启动高压电源模块,安装步进电机连接正弦机构,启动显示和控制模块;
步骤8:通过显示和控制模块设置高压汞灯模块的特征波长并校对和调整正弦机构,使理论波长和实际波长吻合。
8.根据权利要求7所述的光谱单色器光路调试方法,其特征在于:
在步骤7中,所述步进电机16为24V步进电机,光路1nm对应电机20步。
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