[发明专利]一种K镜光学系统装调方法

权利要求书

1.一种K镜光学系统装调方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、利用光学平行平板和干涉仪建立K镜光学系统光学基准；

S2、借助五棱镜调节K2反射镜的位置，使K2反射镜镜面与K镜光学系统机械转轴平行；

S3、按照机械平面位置放置K3反射镜，然后放入K1反射镜并调整K1反射镜位置，使干涉仪出射光经K1反射镜、K2反射镜、K3反射镜和光学平行平板反射后在干涉仪内形成零条纹；

所述步骤S1包括：

S11、利用干涉仪对光学平行平板表面进行零位测量；

S12、调节平行平板，使其平面垂轴方向与K镜机械转轴平行；

所述步骤S2包括：

S21、将干涉仪置于K镜光学系统左侧，并调节干涉仪位置，使干涉仪检测光学平行平板得到零条纹；

S22、在干涉光路中放置五棱镜及K2反射镜，使干涉仪出射光经过五棱镜、K2反射镜反射后在干涉仪内形成零条纹。

2.如权利要求1所述的K镜光学系统装调方法，其特征在于，所述步骤S11具体包括：

将光学平行平板置于K镜光学系统右侧，利用光学平行平板右侧的干涉仪对光学平行平板进行干涉测量，调节干涉仪的位置，使干涉条纹变为零条纹。

3.如权利要求1所述的K镜光学系统装调方法，其特征在于，所述步骤S12具体包括：

旋转K镜光学系统机械转轴，根据转动过程中干涉条纹的变化来调整光学平行平板位置，直至在转动过程中干涉仪始终测量得到零条纹。

4.如权利要求3所述的K镜光学系统装调方法，其特征在于，所述五棱镜的入射光与出射光之间形成的角度为90°。

5.如权利要求1所述的K镜光学系统装调方法，其特征在于，在装调完成的K镜光学系统中保留光学基准，作为K镜光学系统与后续光学系统对接的光学接口。