[发明专利]热传感器的感测表面上的污染的检测

权利要求书

1.一种热传感器，特别是用于测量流体流量的流速的热流量传感器，包括：

有源元件(41)，其被配置成被供应电力以引起所述有源元件(41)特别是加热器或冷却器的温度变化；

至少一个温度传感器；以及

处理电路(50)，其被配置成执行以下步骤：

引起供应至所述有源元件(41)的电力的变化；

在多个时间处，基于所述至少一个温度传感器的至少一个输出信号来确定热参数；

分析响应于所述电力的变化的所述热参数的瞬态行为；

基于对所述热参数的瞬态行为的分析，确定指示所述热传感器的感测表面上的污染的污染信号。

2.根据权利要求1所述的热传感器，

其中，分析所述热参数的瞬态行为的步骤包括将所述热参数的瞬态行为与参考瞬态进行比较，以及/或者

其中，分析所述热参数的瞬态行为的步骤包括得出瞬态幅度并且将所述瞬态幅度与参考幅度或阈值进行比较。

3.根据权利要求1或2所述的热传感器，

其中，分析所述热参数的瞬态行为的步骤包括执行所述热参数的时间依赖性与至少两个时间依赖性函数(f(x,r)，g(x,r))的叠加的拟合过程以获得针对所述函数中的至少一个的权重因数(w)；并且

其中，确定所述污染信号的步骤包括考虑由所述拟合过程确定的至少一个权重因数(w)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的热传感器，其中，所述热传感器包括布置在所述感测表面的不同扇区中的多个温度传感器，并且其中，所述热参数是基于所述多个温度传感器的输出信号的组合的多扇区热参数。

5.根据权利要求4所述的热传感器，

其中，所述温度传感器包括：至少一个第一温度传感器(31)，优选地布置在所述有源元件(41)的第一侧上；以及至少一个第二温度传感器(32)，优选地布置在所述有源元件(41)的与所述第一侧相反的第二侧上，并且

其中，所述多扇区热参数是指示所述第一温度传感器(31)与所述第二温度传感器(32)之间的温度差的温度差参数(DTP)。

6.根据权利要求4所述的热传感器，

其中，所述热传感器包括优选地布置在所述有源元件(41)的第一侧上的至少两个第一温度传感器(31，33)以及优选地布置在所述有源元件(41)的与所述第一侧相反的第二侧上的至少两个第二温度传感器(32，34)，并且

其中，所述多扇区热参数指示第一温度不均匀性参数和第二温度不均匀性参数的和或者差，所述第一温度不均匀性参数指示所述第一温度传感器(31，33)之间的温度不均匀性，并且所述第二温度不均匀性参数指示所述第二温度传感器(32，34)之间的温度不均匀性。

7.一种热传感器，特别是用于测量流体流量的流速的热流量传感器，所述热传感器包括：

有源元件(41)，其被配置成被供应电力以引起所述有源元件(41)特别是加热器或冷却器的温度变化；

至少两个第一温度传感器(31，33)，其布置在所述感测表面的不同扇区中，优选地布置在所述有源元件(41)的第一侧上；

至少两个第二温度传感器(32，34)，其布置在所述感测表面的不同扇区中，优选地布置在所述有源元件(41)的与所述第一侧相反的第二侧上；以及

处理电路(50)，其被配置成执行以下步骤：

使得电力被供应至所述有源元件(41)；

基于所述至少两个第一温度传感器(31，33)和所述至少两个第二温度传感器(32，34)的输出信号的组合来确定多扇区热参数，所述多扇区热参数优选地指示第一温度不均匀性参数和第二温度不均匀性参数的和或者差，所述第一温度不均匀性参数指示所述第一温度传感器(31，33)之间的温度不均匀性，并且所述第二温度不均匀性参数指示所述第二温度传感器(32，34)之间的温度不均匀性；以及

基于所述多扇区热参数来确定指示所述热传感器的表面上的污染的污染信号。