[发明专利]一种基于折叠薄膜的全柔性电磁式振动传感器

权利要求书

1.一种基于折叠薄膜的全柔性电磁式振动传感器，其特征在于，包括柔性线圈，绝缘层、柔性环形磁薄膜，柔性圆形磁振子和弹性基底，柔性线圈位于两层柔性环形磁薄膜中间的空心处，且柔性线圈的上下表面均为绝缘层；柔性圆形磁振子位于柔性线圈中间的空心处，其竖直方向上的厚度小于两层柔性环形磁薄膜的总厚度，且上下表面分别与固定在传感器底部和顶部的弹性基底连接构成惯性振子。

2.根据权利要求1所述基于折叠薄膜的全柔性电磁式振动传感器，其特征在于，所述柔性线圈为超薄的平面线圈，或由多层平面线圈叠加而成，制备工艺可以是但不限于是光刻、丝网印刷、喷墨打印或激光雕刻。

3.根据权利要求1所述基于折叠薄膜的全柔性电磁式振动传感器，其特征在于，所述柔性线圈采用金、银、铜或导电高分子材料。

4.根据权利要求1所述基于折叠薄膜的全柔性电磁式振动传感器，其特征在于，所述柔性圆形磁振子和柔性环形磁性薄膜均采用弹性聚合物和磁性颗粒的混合物制作形成，弹性聚合物可以采用聚二甲基硅氧烷PDMS、Dragon skin或Ecoflex，磁性颗粒采用钕铁硼或铁氧体纳米或微米颗粒，聚二甲基硅氧烷为柔性环形磁薄膜提供柔性，磁性颗粒为薄膜提供所需磁性。

5.根据权利要求1所述基于折叠薄膜的全柔性电磁式振动传感器，其特征在于，所述柔性环形磁性薄膜的磁场分布由自定义增强磁场的磁铁阵列制备方法制得，用于扩大磁场的覆盖范围。

6.根据权利要求1所述基于折叠薄膜的全柔性电磁式振动传感器，其特征在于，所述弹性基底采用高分子弹性聚合物制作，高分子弹性聚合物选自聚二甲基硅氧烷PDMS、Dragonskin或Ecoflex中的一种。