[发明专利]一种螺旋型微型机器人及其制备方法和用途

权利要求书

1.一种螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为15-75°，所述螺旋型微型机器人的体长为40-1000μm。

2.如权利要求1所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人由长条形平行四边形卷曲得到；

优选地，所述长条形平行四边形的一侧底角为15-75°，优选为20-40°；

优选地，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为20-40°。

3.如权利要求1或2所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人的体长为50-400μm。

4.如权利要求1-3任一项所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人为螺旋片状结构。

5.如权利要求4所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋片状结构的片状厚度为20-300nm，优选为80-100nm。

6.如权利要求1-5任一项所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人为金属材料；

优选地，所述螺旋型微型机器人的材质为铁磁性金属材料；

优选地，所述螺旋型微型机器人的材质为镍、钛、钴、铜、金、铂、铝、铁或钴镍合金中的任意一种或至少两种的组合，优选为镍。

7.如权利要求1-6任一项所述的螺旋型微型机器人的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)在基底上形成光刻胶层，之后进行烘烤；

(2)通过紫外曝光在光刻胶层上印刻长条形平行四边形，之后烘烤、显影，所述长条形平行四边形的一侧底角为15-75°；

(3)在步骤(2)得到的长条形平行四边形上蒸镀金属材料层，之后置于加热的溶剂中浸泡，得到所述螺旋型微型机器人。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述基底包括硅片、二氧化硅或氮化硅中的任意一种；

优选地，步骤(1)所述光刻胶层的光刻胶为负胶；

优选地，步骤(1)所述光刻胶层的厚度为2-8μm；

优选地，步骤(1)所述在基底上形成光刻胶层的方法包括将光刻胶涂覆在基底上；

优选地，将光刻胶涂覆在基底上的方法为旋涂；

优选地，所述旋涂的转速为2000-4000rpm；

优选地，所述旋涂的时间为45-30s；

优选地，步骤(1)所述烘烤的时间为60-90s；

优选地，步骤(1)所述烘烤的温度为110-90℃；

优选地，步骤(2)所述紫外曝光的紫外线的强度为5-13mW/cm²；

优选地，步骤(2)所述紫外曝光的时间为20-15s；

优选地，步骤(2)所述长条形平行四边形的一侧底角为20-40°；

优选地，步骤(2)所述烘烤的温度为80-120℃；

优选地，步骤(2)所述烘烤的时间为90-60s；

优选地，步骤(2)所述显影在显影液中进行，所述显影的时间为50-70s；

优选地，步骤(2)所述蒸镀为电子束蒸镀；

优选地，步骤(2)所述蒸镀过程的沉积速率为

优选地，步骤(3)所述溶剂为N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜或丙酮中的任意一种或至少两种的组合，优选为N-甲基吡咯烷酮；

优选地，步骤(3)所述加热的溶剂的温度为80-100℃；

优选地，步骤(3)所述浸泡过程伴随超声处理；

优选地，所述超声处理的时间为30-120s；

优选地，步骤(3)所述浸泡的时间为3-1天；

优选地，步骤(3)中所述浸泡后还包括清洗；

优选地，所述清洗的清洗液包括醇和水；

优选地，所述清洗的方法包括先用醇润洗，之后用水润洗；

优选地，所述醇包括异丙醇和/或乙醇。