[发明专利]一种晶圆键合机

权利要求书

1.一种晶圆键合机，其结构包括键合压力装置(1)、立柱(2)、操作台(3)、液泵(4)、液箱(5)、键合定位装置(6)、集尘箱(7)、气泵(8)，其特征在于：

所述的操作台(3)内部由左至右设有液箱(5)和集尘箱(7)，所述的液箱(5)一侧设有液泵(4)，所述的集尘箱(7)一侧设有气泵(8)，所述的操作台(3)顶部设有键合定位装置(6)，所述的操作台(3)后端设有立柱(2)，所述的键合定位装置(6)正上方设有键合压力装置(1)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆键合机，其特征在于：所述的键合压力装置(1)由压力油缸(11)、伺服缸(12)、晶圆压力机构(13)、滑杆(14)、电机(15)组成，所述的晶圆压力机构(13)顶部设有电机(15)，所述的电机(15)顶部设有压力油缸(11)，所述的压力油缸(11)两侧设有伺服缸(12)，所述的晶圆压力机构(13)上设有滑杆(14)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆键合机，其特征在于：所述的晶圆压力机构(13)由主动齿轮盘(13a)、吸盘(13b)、左晶圆限位架(13c)、框架(13d)、右晶圆限位架(13e)组成，所述的框架(13d)中心位置设有主动齿轮盘(13a)，所述的框架(13d)两侧设有左晶圆限位架(13c)和右晶圆限位架(13e)，所述的框架(13d)底部设有吸盘(13b)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆键合机，其特征在于：所述的左晶圆限位架(13c)由限位板(13c1)、主动滑杆(13c2)、主动齿条(13c3)、从动滑杆(13c4)组成，所述的限位板(13c1)顶部设有主动滑杆(13c2)和从动滑杆(13c4)，所述的主动滑杆(13c2)一端设有主动齿条(13c3)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆键合机，其特征在于：所述的键合定位装置(6)由清洁环筒(61)、液环(62)、晶圆台(63)、液管(64)、液孔(65)组成，所述的清洁环筒(61)内部设有晶圆台(63)，所述的晶圆台(63)顶部设有液环(62)，所述的液环(62)内圈上设有液孔(65)，所述的液环(62)外圈上设有液管(64)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆键合机，其特征在于：所述的清洁环筒(61)由风嘴(61a)、风管(61b)、限位环筒(61c)、风孔(61e)、密闭垫板(61f)组成，所述的限位环筒(61c)内圈上设有密闭垫板(61f)，所述的密闭垫板(61f)顶部分布有风孔(61e)，所述的密闭垫板(61f)上方设有风管(61b)，所述的风管(61b)前端设有风嘴(61a)。