[发明专利]一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法有效
| 申请号： | 201911302062.7 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111128668B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 赵杨;魏建国;方吉汉;李光熙;杨振宇;谭畅;韩先伟 | 申请（专利权）人： | 西安航天动力研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 张举 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 射频 等离子体 阻抗匹配 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于射频等离子体的阻抗匹配方法，其特征在于：基于用于射频等离子体的阻抗匹配系统；
所述用于射频等离子体的阻抗匹配系统包括固定匹配器(1)和宽频射频源(2)；
所述固定匹配器(1)包括固定电容C1和固定电容C2；
所述固定电容C1一端与放电腔(3)内的射频天线(31)连接，另一端通过射频传输线(21)与宽频射频源(2)的输出端连接；
所述固定电容C2一端通过射频传输线(21)与宽频射频源(2)的输出端连接，另一端接地；
所述宽频射频源(2)用于调节射频频率；
所述宽频射频源(2)的调节范围为1MHz～5MHz；所述宽频射频源(2)的调节精度为1kHz；
所述用于射频等离子体的阻抗匹配方法包括以下步骤：
步骤1)选择固定电容C1和固定电容C2，固定电容C1和固定电容C2的容值满足：在放电腔内无等离子体产生时，宽频射频源与负载端的阻抗匹配，此时负载端的反射功率为零；
步骤2)向放电腔内通电，使其产生等离子体，调节宽频射频源的频率，并不断检测负载端的反射功率大小，直至负载端的反射功率为零。
2.根据权利要求1所述的一种用于射频等离子体的阻抗匹配方法，其特征在于：
步骤2)中调节宽频射频源的频率时，将步进精度控制在1Hz。
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