[发明专利]一种硅片检验自动下料装置及其控制方法

权利要求书

1.一种硅片检验自动下料装置，其特征在于，包括固定台，在所述固定台上方设有传输单元、包装单元和定位单元，在所述固定台侧面设有与所述包装单元相适配的操作单元，所述传输单元一端与硅片检验的出口连接，另一端与所述定位单元连接；所述包装单元贯穿设置在所述定位单元远离所述传输单元一端，所述包装单元的开口方向朝靠近所述传输单元一侧设置；所述操作单元一端与所述固定台连接，另一端与所述包装单元连接，所述操作单元可使所述包装单元竖直上下移动。

2.根据权利要求1所述的一种硅片检验自动下料装置，其特征在于，所述传输单元包括主传输段、若干副传输段以及分别与所述主传输段和所述副传输段连接的辅助传输段，所述主传输段和所述辅助传输段同轴设置，所述副传输段沿所述辅助传输段远离所述主传输段一端均匀分布。

3.根据权利要求2所述的一种硅片检验自动下料装置，其特征在于，所述副传输段有三个，所述副传输段与所述辅助传输段之间以及所述副传输段之间的夹角均为90°。

4.根据权利要求3所述的一种硅片检验自动下料装置，其特征在于，所述副传输段和所述辅助传输段均位于所述固定台内侧，所述主传输段位于所述固定台外侧。

5.根据权利要求4所述的一种硅片检验自动下料装置，其特征在于，所述定位单元分别置于所述副传输段远离所述辅助传输段一端且位于所述固定台外侧，所述主传输段、所述副传输段、所述辅助传输段和所述定位单元均位于同一水平面。

6.根据权利要求2-5任一项所述的一种硅片检验自动下料装置，其特征在于，所述包装单元贯穿所述定位单元厚度方向垂直设置，所述包装单元的数量与所述定位单元相同；所述包装单元长度方向设有若干并行设置的放置槽，所述放置槽宽度与硅片长度相适配；所述放置槽宽度小于所述定位单元宽度，所述放置槽下端面与所述定位单元上端面同一高度设置。

7.根据权利要求6所述的一种硅片检验自动下料装置，其特征在于，所述操作单元为可伸缩设置的机械手，每个所述包装单元均设有所述机械手，所述机械手一端与设置在所述固定台中的电机连接，另一端与所述包装单元连接。

8.根据权利要求1-5、7任一项所述的一种硅片检验自动下料装置，其特征在于，还包括连接单元，所述连接单元垂直于所述传输单元设置，分别与所述传输单元和所述固定台连接。

9.一种硅片检验自动下料装置的控制方法，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的下料装置，水平设置的硅片沿所述传输单元运送至任一贯穿置于所述定位单元中的所述包装单元内，每装满一叠所述硅片，所述操作单元带动所述包装单元竖直向下移动；再通过所述传输单元继续向所述包装单元传输所述硅片，直至所述包装单元装满所述硅片。

10.根据权利要求9所述的一种硅片检验自动下料装置的控制方法，其特征在于，当一侧所述包装单元装满所述硅片后，所述硅片沿所述传输单元旋转90°或180°后传送至另一个所述包装单元内，直至该所述包装单元装满所述硅片。