[发明专利]抛光垫即时整修方法

权利要求书

1.一种抛光垫即时整修方法，其特征在于，包含有：

修整步骤：抛光垫依基座旋转，使修整器抵压于抛光垫表面，并朝向抛光垫内侧或外侧位移，对抛光垫表面进行修整；

检测步骤：抛光垫保持旋转，检测装置于抛光垫上方朝向抛光垫内侧或外侧位移，让检测装置持续地对抛光垫进行检测，并将检测资料传送至主机端；

重建与分析步骤：主机端依据检测装置所传送的检测资料进行抛光垫表面形貌重建，再根据形貌重建的结果进行分析。

2.如权利要求1所述的抛光垫即时整修方法，其特征在于：该重建与分析步骤中的主机端根据形貌重建的结果进行的分析，为抛光垫表面粗糙度分析，当粗糙度分析结果为不足时，则使抛光垫再次进行修整步骤以及检测步骤，直到重建与分析步骤分析出抛光垫表面粗糙度足够为止。

3.如权利要求1所述的抛光垫即时整修方法，其特征在于：该重建与分析步骤中的主机端根据形貌重建的结果进行的分析，为抛光垫沟槽深度分析，当沟槽深度分析结果为不足时，则发出更换抛光垫的讯息。

4.如权利要求1所述的抛光垫即时整修方法，其特征在于：该检测装置，具有用以检测抛光垫表面的检测器，以及利用气体喷注让抛光液层产生隔离区域使抛光垫露出的隔离器。

5.如权利要求4所述的抛光垫即时整修方法，其特征在于：该检测装置的隔离器具有用以喷注气体的气嘴，气嘴喷注气体范围包含检测器的检测位置。

6.如权利要求4所述的抛光垫即时整修方法，其特征在于：该检测装置还设置有位移器，位移器具有驱动单元以及连接于驱动单元的摆臂，检测器与隔离器连接于摆臂，驱动单元能够驱动摆臂带动检测器与隔离器于抛光垫上方朝向抛光垫内侧或外侧弧形水平位移。

7.如权利要求4所述的抛光垫即时整修方法，其特征在于：该检测装置还设置有位移器，位移器具有驱动单元以及连接于驱动单元的位移臂，检测器与隔离器连接于位移臂，驱动单元能够驱动位移臂带动检测器与隔离器于抛光垫上方朝向抛光垫内侧或外侧直线水平位移。

8.如权利要求4所述的抛光垫即时整修方法，其特征在于：该检测装置的检测器是共轭焦显微镜或感光耦合元件。

9.如权利要求1所述的抛光垫即时整修方法，其特征在于：该检测步骤中的检测装置是以固定或非固定检测频率持续地对抛光垫进行检测，而检测装置于抛光垫上方朝向抛光垫内侧或外侧位移时，其位移速度为变动速率。