[发明专利]双工器

权利要求书

1.一种双工器，其特征在于，包括集成在同一基底上的接收滤波器和发射滤波器，所述接收滤波器和所述发射滤波器均包括一个或多个底部薄膜体声波谐振器，以及在所述一个或多个底部薄膜体声波谐振器上形成的顶部薄膜体声波谐振器，所述发射滤波器的所述底部薄膜体声波谐振器和所述顶部薄膜体声波谐振器具有质量负载层；

所述底部薄膜体声波谐振器包括从下到上依次堆叠在基底上的底电极、第一压电层和第一顶电极，所述底电极与所述基底接合并位于所述基底的凹腔上方，其中上方设有所述顶部薄膜体声波谐振器的所述底部薄膜体声波谐振器的所述第一压电层具有延伸至所述基底的另一凹腔，所述第一顶电极与所述第一压电层接合且有部分位于所述另一凹腔上方，所述顶部薄膜体声波谐振器利用所述底部薄膜体声波谐振器的所述第一顶电极作为其底电极，所述顶部薄膜体声波谐振器包括位于所述第一顶电极上的第二压电层，以及位于所述第二压电层上方的第二顶电极。

2.根据权利要求1所述的双工器，其特征在于，所述第一压电层的厚度与所述第二压电层的厚度不相等。